در کارخانههای تولید، فرآیندهای پخت نرم و سخت، صرفاً مراحل حرارتی نیستند؛ بلکه این فرآیندها بر کیفیت محصول تأثیر زیادی دارند. تغییر ۱ درجه سانتیگراد در دمای ویفر در حین فرآیند لیتوگرافی، میتواند ابعاد کلیدی محصول را تغییر دهد؛ همچنین، تولید ذرات در حین گرم کردن، میتواند باعث از بین رفتن محصول قبل از فرآیند برش شود. بنابراین، به یک سیستم گرمایشی نیاز است که از محدودیتهای حرارتی پیروی کند و از قوانین اتاقهای پاک پیروی نماید.
ما سیستم گرمایشی کارخانه خود را بر اساس فرستندههای مادون قرمز کوارتز و سیستم گردش هوای مجبوری طراحی کردهایم؛ این روش باعث میشود که دمای ویفر در منطقه گرمایشی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند. تکرارپذیری دما نیز در محدوده ±۰.۵ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین، همان الگوی حرارتی در هر بار تولید تکرار میشود.
مواد استفاده شده در اتاقهای پاک، دارای میزان گاز کمی هستند؛ همچنین، مسیر هوا نیز سازگار با فیلترهای HEPA است؛ این امر باعث میشود که تعداد ذرات در اتاق پاک کم باقی بماند. تولید صفر ذره، تنها یک شعار نیست؛ بلکه این موضوع از طریق فیلترهای داخلی و سطوحی که ذرات را در شکافهای خود نگه نمیدارند، تحقق مییابد. میزان انرژی مصرفی نیز متناسب با فرآیند تولید تنظیم شده است؛ بنابراین، ماسه حرارتی غیرضروری گرم نمیشود و هزینههای عملیاتی نیز قابل پیشبینی خواهد بود.
فرآیند تولید شامل گرم کردن رزیستورهای فوتونیکی در بازههای زمانی و دمایی دقیق، و تغییر مداوم محصولات است؛ این سیستم گرمایشی، منحنی گرمایشی را کنترل میکند تا فرآیندهای پخت نرم و سخت در محدوده استانداردها باقی بمانند؛ این امر باعث کاهش تغییرات ابعاد محصول و افزایش کیفیت آن میشود. سازگاری این سیستم با اتاقهای پاک، باعث کاهش تعداد ذرات میشود؛ این موضوع در تولید محصولات پیشرفته بسیار مهم است. این سیستم برای کار ۲۴/۷ طراحی شده است؛ قطعات آن نیز برای کار مداوم مناسب هستند و زمان تعمیرات نیز بر اساس نیازهای نگهداری پیشگیرانه تعیین شده است.
این دستگاه به منبع تغذیه پایدار و سیستم تخلیه هوای سازگار با اتاقهای پاک نیاز دارد؛ تعمیرات این دستگاه نیز بسته به طراحی خط تولید متفاوت خواهد بود و ممکن است نیاز به توقف کوتاهی در فعالیتهای تولیدی باشد. لازم است که رابطهای اتصال دستگاه و پنلهای گازی آن با تجهیزات موجود سازگار باشند.
ما نقشههای فنی و فهرستی از مراحل راهاندازی دستگاه را ارائه میدهیم تا ادغام آن در سیستم تولید آسان شود؛ اما لازم است که اتصالات لازم را از همان ابتدا طراحی کنید؛ در غیر این صورت، تولید متوقف خواهد شد.