دیگر انرژی خود را هدر ندهید: حقیقت درباره گرم کردن ویفرها
در کارهای مربوط به نیمههادیها، هر وات انرژی هدررفته، فقط یک مورد هزینهای نیست؛ بلکه خطر آلودگی را نیز به همراه دارد. وقتی که ویفرها را گرم میکنید، میخواهید تمام انرژی مادون قرمز به سطح ویفر برسد؛ بدون هیچ هدررفتی.
به همین دلیل از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. به جای اینکه اجازه دهیم انرژی به داخل بدنه دستگاه برود، ما آن را دوباره به سمت ویفر هدایت میکنیم.
چرا طلا؟
در واقع، لامپهای کوارتز استاندارد، انرژی را در تمام جهات پخش میکنند؛ حدود نیمی از این انرژی، در مسیر اشتباهی قرار میگیرد.
با اضافه کردن لایهای از طلا با خلوص بالا به بازتابنده، میتوانیم بیش از ۹۸٪ از انرژی مادون قرمز را دوباره به سمت ویفر هدایت کنیم. این کار فقط برای کارایی نیست؛ بلکه برای کنترل انرژی نیز ضروری است. طلا، امواج مادون قرمز کوتاه را بازتاب میدهد، بدون اینکه آنها را جذب کند؛ بنابراین جریان گرما روی سطح ویفر باقی میماند.
یافتن نقطه مناسب
فاصله، موضوع مهمی است. اگر لامپ را خیلی نزدیک نصب کنید، منجر به ایجاد نقاط داغ و تغییر شکل ویفرها خواهد شد؛ اما اگر آن را خیلی دور نصب کنید، انرژی به هوای اطراف از دست خواهد رفت.
ما شکل بازتابنده را طوری تنظیم میکنیم که پرتو نور روی ویفر متمرکز شود. این کار به شما امکان میدهد فاصله مناسبی بین لامپ و ویفر حفظ کنید؛ در نتیجه، احتمال تماس تصادفی یا ورود ذرات ناخواسته به سطح ویفر کاهش مییابد، در حالی که میتوانید سرعت افزایش دما را نیز حفظ کنید.
معایب و راهحلها
بازتابندههای طلایی، مقدار زیادی انرژی حرارتی را در فضای کوچکی تمرکز میکنند؛ نمیتوانید این بازتابندهها را در یک بدنه ساده قرار دهید و امیدوار به نتیجه خوب باشید.
سیستم خنککننده دستگاه باید قادر به مقابله با این انرژی حرارتی باشد؛ اگر جریان هوا ضعیف باشد، گرما در بدنه دستگاه تجمع میکند و باعث خرابی فیلامنتها میشود.
حتماً دمای بدنه دستگاه را نیز کنترل کنید؛ این کار ساده است، اما تفاوت بین یک دستگاه با عمر طولانی و دستگاهی که مدام دچار خرابی میشود، را ایجاد میکند.