در خط تولیدی با طول ۳۰۰ میلیمتر، حتی انحراف نیم درجهای در فرآیندهای پخت نرم یا التهابی، میتواند باعث جابجایی سیدیها شود؛ همچنین این امر میتواند منجر به ایجاد نقصها و کاهش کیفیت محصولات شود. ما لامپ دو لولهای با روکش طلا را طراحی کردیم تا این عدم قطعیتهای حرارتی را از فرآیندهای تولیدی حذف کند.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟
لامپ دو لولهای با روکش طلا، امواج مادون قرمز کوتاه را ساطع میکند؛ این امواج مستقیماً به رزist و فیلمهای مورد استفاده در فرآیند تولید منتقل میشوند. روکش طلا، امواج مادون قرمز را دوباره به سمت هدف بازتاب میدهد؛ در نتیجه، کارایی لامپ افزایش یافته و دمای لامپ کاهش مییابد؛ این امر خطر ایجاد ذرات را کاهش میدهد.
در سراسر ویفر، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود؛ همچنین، پس از باز و بسته شدن درب فر، دما به سرعت به حالت تعادل میرسد. خروجی لامپ در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، ثابت باقی میماند؛ درصد انحراف شدت نور نیز کمتر از ۵ درصد است؛ بنابراین، فرآیند تولید بدون نیاز به تنظیم مداوم ادامه مییابد.
این لامپ میتواند در فرهای استاندارد دو لامپه و ماژولهای خشککن استفاده شود؛ همچنین، این لامپ با محیطهای تمیزسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰ سازگار است؛ در شرایط جریان هوای عادی، این لامپ هیچ ذرهای تولید نمیکند.
چرا این لامپ در فرآیندهای تولید مؤثر است؟
در فرآیند خشککردن ویفر، این لامپ رطوبت سطحی را از بین میبرد، بدون اینکه فیلمهای مورد استفاده را خراب کند؛ بنابراین، نقصهایی که میتوانستند باعث اختلال در فرآیند تولید شوند، کاهش مییابند. در فرآیند لیتوگرافی نیز، این لامپ فرآیندهای پخت نرم و التهابی را با دقت بیشتری انجام میدهد؛ این امر باعث کاهش امواج درونی و کنترل بهتر پروفایل حرارتی میشود.
در نتیجه، چرخههای پخت کوتاهتر میشود، مصرف انرژی کمتر میشود و مقدار محصولات باکیفیت کمتر میشود. تنظیمات لازم برای فرآیند تولید، کمتر انجام میشود؛ همچنین، پروفایل حرارتی لامپ، در هر شیفت، یکسان باقی میماند.
چه چیزهایی باید مورد توجه قرار گیرد؟
باید لامپ را با اندازههای رفلکتور و جریان هوای فر هماهنگ کرد؛ اگر رفلکتور مناسب نباشد، نقاط داغی ایجاد خواهد شد. اگر جریان هوا کم باشد، دمای لامپ افزایش یافته و عمر لامپ کوتاه میشود.
روکش طلا مقاوم است، اما از مواد حلال و روشهای تمیزکردن شدید خوشش نمیآید؛ بنابراین، باید از روشهای تمیزکردن مجاز استفاده کرد و به سطح روکش شده دست نزد. اگر لامپ به درستی نصب شود، میتواند ۲۴ ساعته کار کند؛ همچنین، فرآیند تولید در محدوده مورد نیاز باقی خواهد ماند.