Comment maintenir une salle propre de classe 100 vraiment propre
Si vous gérez une salle propre de classe 100, vous connaissez les règles à respecter. Il ne s’agit pas simplement de maintenir une température précise. Il s’agit aussi des particules et des gaz invisibles qui peuvent détruire un lot de wafer en quelques secondes seulement.
La plupart des lampes infrarouges standards constituent un problème dans ce contexte. Lorsqu’elles deviennent trop chaudes, elles libèrent des impuretés métalliques ou des substances organiques. C’est pourquoi nous utilisons du quartz synthétique à haute pureté pour les installations UHP (Ultra-High Purity). Cela permet d’éviter que la source de chaleur ne nuise au substrat.
Le secret réside dans le quartz
Nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté, car les versions bon marché contiennent du bore et de l’aluminium. Lorsque ces lampes deviennent trop chaudes, elles libèrent des gaz, ce qui nuit gravement à la pureté des produits.
Nous utilisons également un système à cycle halogène. On peut l’imaginer comme un système de nettoyage qui empêche le filament de tungstène de s’évaporer et de se coller à l’intérieur du tube. Si le tungstène s’accumule sur le verre, la lumière produite change, et la lampe finit par tomber en panne bien plus tôt que prévu.
Gérer la chaleur
Lorsque l’on active ces tubes UHP à haute puissance, la chaleur générée est énorme. Cela est utile pour faire monter rapidement la température des composants, mais cela représente également une grande charge pour le boîtier de la lampe. Il faut donc s’assurer que les systèmes de refroidissement soient suffisamment performants. Si l’air ne circule pas correctement et que les extrémités du tube surchauffent, le quartz peut se briser.
Pour maintenir la stabilité, nous utilisons des connecteurs R7 ou Sk15. Ils assurent un contact électrique optimal, ce qui évite les problèmes liés aux arcs électriques lorsqu’on travaille en vide ou dans une atmosphère contrôlée.
Quelques conseils pratiques
Ces lampes conviennent généralement à la plupart des outils de revêtement optique ou de semi-conducteurs de haute qualité. Elles produisent une radiation infrarouge pure et efficace, capable pénétrer profondément dans le matériau.
Mais attention : le quartz UHP déteste les empreintes digitales. Si vos techniciens touchent le verre sans gants pendant l’installation, les huiles de la peau s’y incrustent. Cela crée des points chauds qui provoquent la panne prématurée de la lampe.
Il faut donc garder le verre parfaitement propre. Sinon, vous devrez remplacer les lampes tous les quelques centaines d’heures, et personne ne veut passer son week-end à faire ça.