Comment maintenir une salle propre de classe 100 vraiment propre pendant le chauffage des wafer
Si vous chauffez des wafer à semiconducteurs, vous savez déjà que le contrôle de la température n’est qu’une partie du problème. Le véritable cauchemar ? Les particules. Dans un environnement de classe 100, une seule petite particule provenant d’un élément de chauffage peut détruire toute la production obtenue. C’est frustrant, et c’est coûteux.
C’est pourquoi nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté pour nos lampes infrarouges. Cela élimine ce risque.
Pourquoi le matériau est important
Le verre standard ou le quartz bon marché ne résistent pas à la chaleur. Lorsqu’ils sont soumis à des tensions, ils commencent à libérer des gaz, voire à se briser en morceaux. Il en résulte des fragments microscopiques ou des vapeurs chimiques qui se retrouvent directement sur les wafer.
Nous utilisons du quartz de haute pureté car il ne cristallise pas et ne se dégrade pas à sa surface. De plus, comme les rayons infrarouges transmettent de l’énergie directement au substrat, il n’est pas nécessaire d’utiliser de ventilation forcée. Ainsi, aucun contaminant ne peut être transporté dans l’espace de travail. C’est silencieux, propre et fiable.
Obtenir la bonne température
Nous avons optimisé ces lampes pour permettre des montées en température rapides et des temps de chauffe précis. En ajustant la densité du filament en tungstène et l’épaisseur de la paroi en quartz, nous pouvons obtenir la signature spectrale exacte dont vous avez besoin.
Si vous avez besoin d’une puissance importante pour un traitement rapide, les versions à haute puissance conviennent. Mais attention : assurez-vous que votre système de refroidissement puisse gérer cette chaleur intense. Sinon, les capteurs seront affectés, ce qui est un problème inutile.
Installation et la « règle d’or » concernant le quartz
Nous avons choisi des connecteurs standards, afin que ces lampes puissent être installées sans aucun problème dans vos systèmes de chauffage existants. Nous avons également mis beaucoup d’efforts dans les joints des extrémités des lampes – c’est généralement là que se produisent les fuites.
Mais voici la règle d’or : ne touchez jamais ces lampes à mains nues. Le quartz est fragile, mais aussi sensible. Les huiles de la peau créent des points chauds qui peuvent endommager la lampe prématurément. Utilisez des gants sans peluche et de l’alcool isopropylique pour nettoyer les lampes.
Si vous les traitez correctement et si vous les connectez correctement, ces lampes resteront stables pendant des milliers de cycles, sans libérer aucune particule.