Sur une ligne de 300 mm, un décalage de demi-degré pendant le séchage doux ou lors du passage progressif au séchage intense suffit pour déplacer les CD, provoquer des défauts et réduire ainsi le taux de production. Nous avons conçu une lampe à double tube, recouverte d’or, afin d’éliminer ces incertitudes thermiques lors des étapes de traitement.
Ce qui est important sur le plan technique La lampe à double tube, recouverte d’or, émet des rayons infrarouges à courte longueur d’onde qui pénètrent directement dans le photoréactif et les films utilisés. La couche d’or reflète les rayons infrarouges vers la cible, ce qui augmente l’efficacité de la lampe et diminue sa température maximale – ce qui réduit le risque de formation de particules.
Sur toute la surface de la wafer, on obtient une uniformité de ±0,1 °C à la température désirée. Cette valeur reste stable même après l’ouverture et la fermeture de la porte de l’oven. La puissance de sortie reste constante pendant plus de 5 000 heures, avec moins de 5 % de variation d’intensité. Ainsi, le processus peut se répéter sans avoir besoin de réglages constants.
Cette lampe peut être intégrée dans des installations standard à double lampe, utilisées dans les fours de séchage. Elle est compatible avec des salles propres de classe 1 à 100. En conditions normales de circulation de l’air, elle ne produit pas de particules.
Pourquoi cela fonctionne bien en pratique Lors du séchage des wafers, la lampe élimine l’humidité de surface sans endommager les films, ce qui réduit les défauts qui pourraient affecter le processus. En lithographie, elle permet d’effectuer des séchages doux et intenses avec une marge thermique plus faible, ce qui réduit les ondes stationnaires et améliore le contrôle du profil thermique.
Vous obtenez ainsi des cycles de séchage plus courts, une consommation d’énergie moindre, et moins de produits défectueux. Les ajustements nécessaires entre les différentes séries de production sont moins fréquents, et la précision du contrôle du profil thermique reste élevée, car la lampe reproduit toujours le même profil thermique d’un cycle à l’autre.
À prendre en compte Il est important que la lampe soit adaptée à la géométrie du réflecteur et à la circulation de l’air dans l’oven. Si le réflecteur n’est pas correctement positionné, des points chauds peuvent apparaître. Si la circulation de l’air est insuffisante, la température de la lampe augmente, ce qui raccourcit sa durée de vie.
La couche d’or résiste bien aux agressions, mais elle n’aime pas les solvants et les produits de nettoyage agressifs. Il convient d’utiliser uniquement des méthodes de nettoyage autorisées, et de ne pas toucher à la surface recouverte d’or. Correctement installée, la lampe à double tube, recouverte d’or, peut fonctionner 24/7, avec un entretien prévisible, et le processus reste sous contrôle.