חימום באמצעות חצאי מוליכים אלקטרוניים – חיסכון באנרגיה

בחדרי הליתוגרפיה, תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו רק שלב מקדים לתהליך העיבוד – זהו בעצם המנגנון שאחראי על שליטה בעובי הקווים שנוצרים במהלך העיבוד. אם...