להביא את החום למקום הנכון אם אתם מקימים מפעל חכם, תגלו שבחירת להבת IR בעלת יעילות גבוהה היא החלק הקל. הבעיה האמיתית היא לדעת לאן בדיוק החום הזה הולך....

במהלך תהליך האפייה, שינוי קל בטמפרטורה של 0.3°C בלבד יכול לשנות את התכונות של הפוטורזיסט. ניתן לראות זאת מיד בשלבים הבאים – שגיאות בתהליך הליתוגרפיה,...