वेफरों को गर्म करते समय अपने क्लास 100 क्लीनरूम को साफ रखना
यदि आप सेमीकंडक्टर वेफरों को गर्म कर रहे हैं, तो आपको पता ही होगा कि तापमान नियंत्रण तो केवल आधा ही काम है। वास्तविक समस्या तो कणों की है। क्लास 100 वाले वातावरण में, हीटिंग एलिमेंट से निकलने वाला एक छोटा सा कण भी आपके समस्त उत्पादों को नष्ट कर सकता है। यह बहुत ही परेशान करने वाली बात है, और इसकी लागत भी बहुत अधिक है।
इसीलिए हम अपने इन्फ्रारेड लैंपों में उच्च शुद्धता वाला कृत्रिम क्वार्ट्ज ही उपयोग में लाते हैं। ऐसा करने से ऐसे जोखिमों से बचा जा सकता है।
सामग्री का महत्व
दरअसल, सामान्य काँच या सस्ता क्वार्ट्ज गर्मी को सहन नहीं कर पाता। जब ऐसी सामग्रियों पर दबाव पड़ता है, तो वे गैसें छोड़ने लगती हैं, या फिर टूट जाती हैं। इससे सूक्ष्म कण या रासायनिक वाष्पें वेफर पर जम जाती हैं।
हम उच्च शुद्धता वाला क्वार्ट्ज ही उपयोग में लाते हैं, क्योंकि यह सतह पर क्रिस्टलाइज नहीं होता, न ही खराब होता है। इसके अलावा, चूँकि इन्फ्रारेड विकिरण सीधे ही सब्सट्रेट तक पहुँचता है, इसलिए बलपूर्वक हवा भेजने की आवश्यकता ही नहीं है। इससे आपके कार्यस्थल पर कोई दूषित पदार्थ नहीं जमता। यह व्यवस्था शांतिपूर्ण, स्वच्छ एवं विश्वसनीय है।
सही तापमान प्राप्त करना
हमने इन लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वे तेज़ी से गर्म हो सकें, एवं तापमान भी सटीक रहे। टंगस्टन फिलामेंट की घनत्व एवं क्वार्ट्ज दीवारों की मोटाई को समायोजित करके हम वांछित स्पेक्ट्रल आउटपुट प्राप्त कर सकते हैं।
यदि आपको तेज़ प्रसंस्करण हेतु अधिक ऊर्जा की आवश्यकता है, तो उच्च-वाटेज वाले लैंप ही उपयुक्त हैं। लेकिन ध्यान रखें कि आपकी कूलिंग प्रणाली इतनी मजबूत हो कि वह ऐसी ऊष्मा को सह सके। यदि कूलिंग प्रणाली कमज़ोर है, तो सेंसरों पर नकारात्मक प्रभाव पड़ सकता है, जो बहुत ही परेशान करने वाली बात है।
स्थापना एवं “सुनहरा नियम”
हमने कनेक्टरों को मानक रखा है, ताकि ये आपके मौजूदा हीटिंग उपकरणों में आसानी से लग सकें। हमने एंड-कैपों पर भी विशेष ध्यान दिया है… क्योंकि वहीं से ही लीकेज होता है।
लेकिन सबसे महत्वपूर्ण बात यह है: इन लैंपों को कभी भी नंगे हाथों से न छूएं।
क्वार्ट्ज बहुत ही नाजुक होता है… इसलिए आपकी त्वचा से निकलने वाले तेल इसे नष्ट कर सकते हैं। इसलिए धूल-रहित दस्ताने एवं आइसोप्रोपिल अल्कोहल का उपयोग करें।
इन लैंपों का सही तरीके से रखरखाव करें… ताकि वे हजारों बार उपयोग में आ सकें, बिना किसी कण के निकले।