क्या एक साधारण इन्फ्रारेड लैंप वाकई में उन महंगे सेमीकंडक्टर घटकों की जगह ले सकता है?
हमें कारखानों में लगातार ऐसे ही सवाल सुनने को मिलते हैं। क्या एक साधारण इन्फ्रारेड हीटिंग लैंप वाकई में लागत को कम कर सकता है, एवं उन महंगे सेमीकंडक्टर घटकों की जगह ले सकता है?
यह केवल कीमत का ही मामला नहीं है… बल्कि इंजीनियरिंग का भी मामला है। हमने अपना समाधान ऐसे ही तैयार किया है कि वह मूल उपकरणों के समान ही काम करे।
ऊर्जा, वोल्टेज एवं आकार
लिथोग्राफी प्रक्रिया में ऊष्मा का उपयोग बहुत ही सटीक तरीके से किया जाना आवश्यक है। इसलिए हमें मूल उपकरणों के समान ही ऊर्जा घनत्व आवश्यक था।
हमारा इन्फ्रारेड लैंप उच्च वोल्टेज पर काम करता है – आमतौर पर 400V – ताकि कम जगह में ही अधिक ऊर्जा प्राप्त की जा सके। ऐसा करने से विद्युत धारा कम रहती है, जिससे वायरिंग एवं आंतरिक विद्युत घटकों पर कम दबाव पड़ता है।
आकार के मामले में, हमने ट्यूब की लंबाई सहित सभी आयामों को मानक 300मिमी आकार के उपकरणों के अनुरूप ही रखा है। इससे हीटिंग जोन सही जगह पर ही रहता है, जिससे कोई गर्म/ठंडा क्षेत्र नहीं बनता, जिससे पूरा वेफर नष्ट न हो जाए।
लैंप की संरचना
लैंप का मुख्य घटक उच्च शुद्धता वाला क्वार्ट्ज ट्यूब है। यह तेज तापमान परिवर्तनों को सहन कर सकता है, एवं इन्फ्रारेड किरणों को प्रसारित करने में भी सहायक है।
फिलामेंट के पीछे एक विशेष परावर्तक परत लगी है; यह ऊर्जा को आगे भेजने में मदद करती है, जिससे दक्षता बढ़ जाती है। सामने के हिस्से पर भी विशेष उपचार किया गया है, ताकि विशिष्ट तरंगदैर्ध्यों को फिल्टर किया जा सके, एवं फोटोरेसिस्ट को सही तरीके से सुखाया जा सके।
कनेक्टर के मामले में, हमने R7s का उपयोग किया है – यह लीनियर हैलोजन एवं इन्फ्रारेड लैंपों के लिए उद्योग मानक है। इसका मतलब है कि इसे सीधे ही मौजूदा सॉकेट में लगाया जा सकता है… कोई अतिरिक्त कार्य नहीं।
यह कैसे काम करता है?
“सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया का उद्देश्य फोटोरेसिस्ट से विलायक को जल्दी एवं समान रूप से निकालना है। हमारा लैंप फोटोरेसिस्ट पर उच्च-तीव्रता वाली इन्फ्रारेड ऊष्मा डालता है… इससे कार्य तेज हो जाता है, एवं उत्पादन भी बढ़ जाता है।
R7s कनेक्टर की वजह से, यह वाकई में एक आसान विकल्प है… कोई रुकावट नहीं।
लेकिन एक समस्या है… 400V, 2500W वाला लैंप बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न करता है। इसलिए मशीन की शीतलन प्रणाली भी मजबूत होनी आवश्यक है। यदि शीतलन पर्याप्त न हो, तो लैंप अधिक गर्म हो जाएगा, जिससे इसका जीवनकाल कम हो जाएगा।
हम हमेशा अपने ग्राहकों से कहते हैं कि बदलाव करने से पहले अपनी मशीन की शीतलन क्षमता की जाँच अवश्य करें।
यही तरीका है जिससे हम महंगाई की समस्या को दूर करते हैं… हम उच्च गुणवत्ता वाले उत्पादों को, उचित कीमत पर ही उपलब्ध कराते हैं… बिना किसी OEM मार्कअप के।