300 मिमी की लाइन पर, सॉफ्ट बेक के दौरान आधा डिग्री का विचलन, या हार्ड बेक में धीमी गति से तापमान बढ़ना, CDों को हिलाने के लिए पर्याप्त है; इससे उत्पादन में कमी आ जाती है। हमने ऐसी ट्विन-ट्यूब वाली, सोने से लेपित लैंपें बनाईं, ताकि हर शिफ्ट में होने वाले थर्मल विचलनों को दूर किया जा सके।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
ट्विन-ट्यूब वाली, सोने से लेपित लैंपें शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड किरणें उत्सर्जित करती हैं; ये किरणें सीधे फोटोरेजिस्ट एवं फिल्मों में पहुँच जाती हैं। सोने की परत, इन्फ्रारेड किरणों को वापस लक्ष्य तक भेजती है; इससे दक्षता बढ़ जाती है, एवं लैंप का तापमान कम हो जाता है – जिससे कणों का जोखिम कम हो जाता है।
वेफर पर, तापमान ±0.1°C तक स्थिर रहता है; दरवाजा खोलने/बंद करने के बाद भी यह जल्दी ही स्थिर हो जाता है। 5,000 घंटों से अधिक समय तक भी आउटपुट स्थिर रहता है, एवं तीव्रता में 5% से कम विचलन होता है; इसलिए प्रक्रिया को बार-बार समायोजित करने की आवश्यकता नहीं है।
यह लैंप, ट्रैक ओवनों एवं ड्रायिंग मॉड्यूलों में उपयोग में आ सकता है। यह क्लीनरूम क्लास 1–100 के अनुकूल है; सामान्य हवा-प्रवाह में इससे कोई कण नहीं उत्पन्न होते।
यह क्यों कारगर है?
वेफर को सुखाने के दौरान, यह लैंप सतह पर मौजूद नमी को हटा देता है, बिना फिल्म को नष्ट किए; इससे दोष कम हो जाते हैं। लिथोग्राफी में, यह लैंप सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक को बेहतर तरीके से करने में मदद करता है; इससे प्रोफाइल नियंत्रण बेहतर हो जाता है।
इससे बेकिंग चक्र छोटे हो जाते हैं, ऊर्जा की खपत कम हो जाती है, एवं अपशिष्ट भी कम हो जाता है। विभिन्न शिफ्टों में प्रक्रिया में बहुत कम बदलाव होते हैं; क्योंकि लैंप हर बार वही थर्मल प्रोफाइल दोहराता है।
किन बातों पर ध्यान देना आवश्यक है?
लैंप को रिफ्लेक्टर की ज्यामिति एवं ओवन की हवा-प्रवाह से मेल खाना आवश्यक है। यदि रिफ्लेक्टर सही न हो, तो गर्म बिंदु बन जाते हैं। यदि हवा-प्रवाह कम हो, तो लैंप का तापमान बढ़ जाता है, एवं उसका जीवनकाल कम हो जाता है।
सोने की परत तो मजबूत होती है, लेकिन यह विलायकों एवं तीव्र सफाई विधियों को सहन नहीं कर पाती। केवल अनुमोदित सफाई विधियों का ही उपयोग करें, एवं लेपित सतह को छूने से बचें। यदि इसे सही तरीके से लगाया जाए, तो यह लैंप 24/7 काम कर सकता है, एवं प्रक्रिया भी वांछित स्तर पर ही रहेगी।