Mengapa kita menggunakan teknik pengeringan dengan IR untuk pemrosesan wafer
Di pabrik semikonduktor, “kesucian” bukan sekadar tujuan saja—itu merupakan hal yang sangat penting. Jika ada sedikit pun sisa zat yang tertinggal selama proses pengeringan atau pematangan wafer, maka akan timbul masalah. Itulah sebabnya kita menggunakan sensor dan emitor IR yang memiliki tingkat presisi tinggi. Dengan begitu, kita tidak perlu lagi menggunakan pelarut kimia atau pemanas konvensional.
Lupakan saja cara memanaskan udara.
Kebanyakan orang berpikir tentang oven, di mana udara dipanaskan agar panasnya dapat menyebar ke wafer. Namun cara ini lambat dan kurang efisien. IR berbeda. Ia menggunakan radiasi elektromagnetik untuk menggerakkan molekul-molekul di dalam substrat itu sendiri. Prosesnya instan. Selain itu, tidak ada elemen pemanas yang bisa menciptakan polusi di ruangan yang bersih. Jika Anda ingin memenuhi standar lingkungan yang ketat atau mencegah kontaminasi logam di ruangan tersebut, inilah satu-satunya cara yang efektif.
Fokus pada bagian yang perlu dipanaskan saja.
Yang menarik adalah kita dapat menyesuaikan panjang gelombangnya. Alih-alih memanaskan seluruh permukaan wafer, kita hanya memanaskan bagian-bagian tertentu yang membutuhkan pemanasan. Dengan demikian, energi yang digunakan menjadi lebih efisien. Anda tidak perlu membuang-buang energi untuk memanaskan komponen logam yang besar hanya untuk mematangkan satu wafer berukuran 300 mm. Karena modulnya sangat kompak, Anda bisa menggantikan oven konvensional dengan modul IR ini, sehingga ruangan menjadi lebih luas. Sistem HVAC Anda pun akan merasa terbantu.
Kelemahannya…
Intensitas IR yang tinggi tentu memiliki kelebihan, yaitu mempercepat proses pematangan wafer. Namun hal ini juga membuat manajemen suhu menjadi lebih sulit. Jika sensor tidak akurat, maka akan terjadi titik-titik panas di beberapa bagian wafer. Hal ini akan menyebabkan wafer menjadi cacat. Untuk mencegah hal ini, kita perlu menggunakan kontroler PID berkecepatan tinggi agar suhu tetap stabil.
Tips terakhir: Jangan gunakan kabel biasa. Gunakan kabel yang dilindungi. Jika tidak, gangguan EMI dapat masuk ke sensor dan merusak hasil pengukuran. Meskipun ini merupakan hal kecil, tetapi hal ini sangat penting untuk mendapatkan hasil yang sempurna.