Mantenere una sala pulita di classe 100 davvero pulita
Se si gestisce una sala pulita di classe 100, si conoscono bene le regole da seguire. Non si tratta soltanto di mantenere una temperatura specifica indicata sull’indicatore termico: è importante anche tenere sotto controllo le particelle e i gas invisibili che possono rovinare un lotto di wafer in pochi secondi.
La maggior parte delle lampade a infrarossi standard rappresenta un problema in questi contesti. Quando si riscaldano, tendono a rilasciare impurità metalliche o sostanze organiche. Ecco perché utilizziamo quarzo sintetico per le apparecchiature ad alta purezza. Questo materiale impedisce che la fonte di calore danneggi il substrato su cui vengono lavorati i wafer.
Il segreto sta nel quarzo
Utilizziamo quarzo sintetico ad alta purezza, poiché il quarzo di bassa qualità contiene borio e alluminio. Quando queste lampade si riscaldano, rilasciano sostanze nocive, il che compromette notevolmente il livello di purezza.
Utilizziamo anche un sistema a ciclo halogenato per evitare che il filamento di tungsteno si vaporizzi e si attacchi all’interno del tubo. Se il tungsteno si accumula sul vetro, la luce emessa dalla lampada cambia colore e la lampada si brucia molto prima del previsto.
Gestire il calore
Quando si utilizzano queste lampade ad alta potenza, il calore generato è enorme. Questo è utile per raggiungere rapidamente la temperatura desiderata, ma rappresenta anche una grande pressione sulle strutture della lampada stessa. È necessario assicurarsi che i sistemi di raffreddamento siano in grado di gestire tale carico. Se l’aria non circola correttamente e le estremità del tubo si surriscaldano, il quarzo potrebbe rompersi.
Per mantenere tutto stabile, utilizziamo connettori R7 o Sk15. Essi garantiscono un collegamento elettrico preciso, evitando così problemi legati agli archi elettrici quando si lavora in ambiente a vuoto o in atmosfera controllata.
Alcuni consigli pratici
Queste lampade possono essere facilmente integrate nella maggior parte degli strumenti per la lavorazione dei semiconduttori o per il rivestimento ottico di alta qualità. Offrono un’emissione a onde corte molto efficace.
Tuttavia, c’è un problema: il quarzo ad alta purezza odia le impronte digitali. Se i tecnici toccano il vetro durante l’installazione senza indossare i guanti, gli oli cutanei rimangono attaccati al quarzo. Questo crea dei “punti caldi” che causano il malfunzionamento prematuro della lampada.
È quindi fondamentale mantenere il vetro perfettamente pulito. Altrimenti, si dovranno sostituire le lampade ogni poche centinaia di ore… e nessuno vuole passare il proprio fine settimana a farlo.