Una semplice lampada a infrarossi può davvero sostituire quel componente semiconduttore costoso?
Sentiamo spesso questa domanda sul posto di lavoro: una normale lampada per il riscaldamento a infrarossi può davvero ridurre i costi e sostituire quei componenti semiconduttori così costosi?
Non si tratta soltanto del prezzo. È anche una questione di ingegneria: abbiamo progettato la nostra soluzione per farla funzionare correttamente, rispettando tutti i requisiti necessari.
Dettagli tecnici: potenza, tensione e dimensioni
Nelle fasi di cottura a bassa temperatura nella litografia è fondamentale avere una precisione elevata riguardo al calore prodotto. Pertanto, abbiamo dovuto assicurarci che la densità di potenza della nostra lampada fosse simile a quella dell’unità originale.
La nostra lampada a infrarossi funziona a alta tensione – solitamente 400 V – per poter generare una grande quantità di energia in uno spazio ridotto. Questo approccio permette di mantenere un consumo energetico basso, riducendo così il carico sui cavi elettrici e sui componenti elettronici interni.
Per quanto riguarda le dimensioni, abbiamo adattato quelle della lampada a quelle degli strumenti standard da 300 mm. In questo modo, la zona di riscaldamento coincide perfettamente con il substrato, evitando così zone troppo calde o fredde che potrebbero rovinare l’intera serie di wafer.
Componenti interni: quarzo, rivestimento e connettore appropriato
Il cuore della lampada è un tubo di quarzo ad alta purezza. È abbastanza robusto per resistere a rapidi cambiamenti di temperatura e trasmettere efficacemente la luce infrarossa.
Sul retro del filamento è presente uno strato riflettente speciale, che aiuta a concentrare l’energia e migliorare l’efficienza. Anche la parte anteriore del tubo è trattata appositamente, per filtrare determinate lunghezze d’onda e garantire che il calore prodotto sia quello giusto per la vulcanizzazione del fotoresist.
Infine, c’è il connettore: utilizziamo lo standard R7s, utilizzato normalmente per le lampade alogeniche e a infrarossi. Questo significa che può essere collegato direttamente alla presa esistente, senza bisogno di modifiche particolari.
Come funziona e cosa bisogna sapere
Lo scopo del processo di cottura a bassa temperatura è quello di far evaporare rapidamente e uniformemente il solvente presente nel fotoresist. La nostra lampada utilizza calore a onde corte ad alta intensità per accelerare questo processo e migliorare il rendimento.
Grazie al connettore R7s, la lampada può essere sostituita facilmente, senza interruzioni nel funzionamento della macchina.
Tuttavia, c’è un problema: una lampada da 400 V e 2500 W produce molto calore. Pertanto, il sistema di raffreddamento della macchina deve essere adeguato. Se il raffreddamento non è sufficiente, la lampada diventerà troppo calda, riducendone la durata di vita.
Consigliamo sempre ai nostri clienti di verificare le specifiche di raffreddamento prima di effettuare la sostituzione.
In questo modo possiamo offrire soluzioni efficaci, senza aggiungere costi aggiuntivi.