
Mantenere le wafer perfettamente pulite: un modo migliore per riscaldarle
Se gestite una sala pulita di classe 100, sapete bene quanto sia importante mantenere tutto pulito. Anche una piccolissima traccia di polvere o un frammento di materiale può rendere inutilizzabile l’intera serie di wafer. È davvero un incubo. La maggior parte dei riscaldatori standard non è adatta a questo scopo: emettono gas o particelle proprio nel momento in cui si ha bisogno che rimangano stabili.
Ecco perché abbiamo scelto lampade a infrarossi a base di quarzo sintetico ad alta purezza. Non si tratta di riscaldatori ordinari: abbiamo eliminato tutte le impurità metalliche e i residui organici che causano contaminazioni durante i cicli di riscaldamento ad alta temperatura.
Il segreto sta nel quarzo
Utilizziamo silice fusa con un livello di impurità estremamente basso. Questo impedisce agli ioni di penetrare nel substrato semiconduttore. Potete considerare il rivestimento in quarzo come una sorta di sigillo ermetico attorno al filamento di tungsteno: nulla può uscire.
Inoltre, grazie all’uso di uno spettro infrarosso a lunghezza d’onda corta, il calore viene trasmesso direttamente al bersaglio, senza riscaldare l’aria circostante. Il vostro sistema di condizionamento dell’aria vi ringrazierà per non dover lavorare sottoposto a carichi eccessivi.
Alcuni punti da tenere a mente
Queste lampade sono progettate per funzionare in modo rapido e preciso. È possibile regolare la potenza e la tensione in base all’alimentazione elettrica già in uso.
Tuttavia, c’è un problema: essendo molto potenti, il quarzo può diventare un po’ fragile. Se subiscono uno shock termico improvviso, potrebbero rompersi. È quindi importante aumentare gradualmente la potenza, senza fretta.
Come installarle
Le abbiamo progettate in modo da sostituire facilmente i vecchi sistemi di riscaldamento. Utilizziamo connettori speciali per garantire che l’interfaccia elettrica rimanga ermetica, così che i gas allogeni rimangano al loro posto.
Un ultimo consiglio: se le installate in un insieme ad alta densità, assicuratevi che i sistemi di raffreddamento funzionino correttamente. Il calore generato è intenso; se la circolazione dell’aria non è sufficiente, potreste danneggiare i cavi elettrici. Nessuno vuole affrontare questo problema.