Lampada a infrarossi per strumento Applied Materials

Mon, 01 Jun 2026 00:14:56 +0800

Sulla linea, il modulo di cottura è il collo di bottiglia silenzioso che si percepisce ad ogni turno. Imposti la ricetta, ti aspetti che la temperatura raggiunga il valore previsto dal modello e che vi rimanga stabile—ciclo dopo ciclo. Quando la lampada eroga meno energia del previsto, il photoresist non si desolventa completamente e il controllo della dimensione critica inizia a deviare. Quando eroga troppo, il resist fluisce, si formano residui e si finisce per scartare wafer che invece sarebbero stati conformi. In entrambi i casi, l’OEE diminuisce e il calendario di manutenzione si riempie rapidamente di sostituzioni lampada d’emergenza.

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Lampada a infrarossi per strumento Applied Materials