Guaina in quarzo per lampada IR fab

Sun, 31 May 2026 02:54:23 +0800

Sulla linea di litografia, il soft bake e l’hard bake non servono solo a essiccare il photoresist. Definiscono il budget termico che determina il controllo della linewidth, il profilo delle pareti laterali e la fluidità con cui il wafer procede nel resto del processo. Quando la lampada IR non funziona correttamente — punti caldi in una zona, punti freddi in un’altra — non si perde solo un lotto. Si generano scarti, rilavorazioni e una lenta erosione del margine di processo.
Abbiamo progettato il nostro manicotto in quarzo per lampade IR di fab per eliminare questa variabilità alla fonte: proprio dove la lampada incontra la camera di processo, dove si combinano calore, pulizia e ripetibilità.

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Guaina in quarzo per lampada IR fab