http://warm-ir-life.com/ja/tags/%E3%82%AF%E3%82%A9%E3%83%BC%E3%83%84/ Recent content in クォーツ on Enhance Your Warm IR Life Hugo ja Sun, 31 May 2026 02:54:23 +0800 http://warm-ir-life.com/ja/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Sun, 31 May 2026 02:54:23 +0800 http://warm-ir-life.com/ja/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-life.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ファブIRランプ用クォーツスリーブ"></p> <p>リソグラフィ工程において、ソフトベークおよびハードベークは単にフォトレジストの乾燥を意味するものではない。これらはライン幅制御、サイドウォールプロファイル、ウェーハがライン全体をスムーズに流れるかどうかを<a href="https://henruite.com">決定</a>する熱予算を設定する工程である。IRランプの性能が不安定であれば—ある箇所でのホットスポット、別の箇所でのコールドスポット—単一ロットの損失だけでなく、スクラップ、再作業、そしてプロセスマージンの徐々の減少を招く。</p>