http://warm-ir-life.com/ja/tags/%E3%83%AC%E3%83%BC%E3%82%B6%E3%83%BC/ Recent content in レーザー on Enhance Your Warm IR Life Hugo ja Sat, 06 Jun 2026 01:41:29 +0800 http://warm-ir-life.com/ja/posts/laser-wafer-dicing-support-heater/ Sat, 06 Jun 2026 01:41:29 +0800 http://warm-ir-life.com/ja/posts/laser-wafer-dicing-support-heater/ <p><img src="http://warm-ir-life.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="レーザーダイシング用ウェーハサポートヒーター"></p> <p>アウトライン上では、レーザーダイシングは熱予算を歩留まりに変換することに尽きる。サポートヒーターの動作がずれ始めると、カーフ品質が崩れ、ウェーハ全体にマイクロクラックが走るのを確認することになる。我々は、温度を安定的かつ再現性良く、粒子生成を抑制して制御するレーザウェーハダイシング用サポートヒーターを構築した。先端ノードのプロセスウインドウには変動に余裕がないためである。</p>