ウェーハ加熱の安全距離

熱を無駄にしないために：ウェーハ加熱の真実 半導体の製造において、無駄になる1ワットのエネルギーも、単なる予算上の問題ではありません。それは汚染リスクを意味します。ウェーハを加熱する際には、その赤外線エネルギーがすべて基板に届くようにしなければなりません。漏れや無駄は許されません。 だからこそ、私...