ウェーハ用高精度IRセンサー

Mon, 27 Jul 2026 16:55:47 +0800

なぜウェーハ処理にIR硬化技術を使用するのか？半導体工場において、「清潔さ」は単なる目標ではなく、すべてを決定づける要素です。乾燥や硬化の過程でわずかな残留物が残ってしまったら、大きな問題になります。そのため、私たちは高精度なIRセンサーやエミッターを利用しています。これにより、化学溶剤や燃焼式ヒーターを全く使わなくて済みます。 空気を加熱する必要はありません。 多くの人々は、空気を加熱してそれをウェーハに伝えるという方法を思い浮かべます。しかし、これは効率が悪く、面倒です。一方、IR技術は異なります。電磁波を利用して基板内の分子を動かします。瞬時に処理が行えます。また、加熱素子によってクリーンルームの空気が汚染されることもありません。環境規制を満たしたり、金属粒子が部屋に入らないようにしたい場合、これが最適な方法です。 全体を加熱するのではなく、特定の部分だけを加熱します。 素晴らしい点は、波長を調整できることです。ウェーハ全体を加熱する代わりに、接着剤やフォトレジストの吸収帯だけを狙って加熱します。必要な部分だけを加熱するのです。これにより、多大なエネルギーを節約できます。300mmのウェーハ1枚を硬化させるために、巨大な金属製の装置を温めることはありません。また、モジュールがコンパクトなので、大きな対流式オーブンを取り除き、床面積を有効活用できます。HVACシステムにとっても好都合です。 ただし、デメリットもあります。 高強度のIR光は非常に強力です。これはウェーハを迅速に処理するのには役立ちますが、温度管理が難しくなります。センサーの精度が少しでも悪くなると、局部的に高温になってしまいます。そして、その結果、ウェーハが変形してしまいます。これを防ぐためには、高速PIDコントローラーを組み合わせて、温度が急上昇するのを防ぐ必要があります。最後に、配線には手を抜かないでください。遮蔽されたケーブルを使用しましょう。そうしないと、EMIノイズがセンサーに入り込み、測定値に影響を与えます。小さな点かもしれませんが、これが完璧な製品と不良品の違いになります。

電子機器用精密赤外線ヒーター

Thu, 04 Jun 2026 01:19:29 +0800

ファブフロアでは、フォトレジストのベイクは任意ではなく、熱予算そのものです。ソフトベイクやハードベイクの温度をわずか2℃変えるだけで、クリティカルディメンションの制御やサイドウォールプロファイルが変動します。ウエハーレベルの均一性は、出荷可能なロットと廃棄されるロットの境界線です。
内部で重要なポイント
当社は、NIR放射と石英ハロゲン設計を組み合わせた高精度赤外線ヒーターを開発し、高速応答と安定保持を実現しました。重要な数値は、加熱ゾーン全体でのウエハープレーンにおける±0.1℃の熱均一性です（ヒーター表面ではなくウエハープレーンで測定）。低アウトガス材料と密封された無粒子構造により、クリーンルームClass 1～100に対応しています。粒子発生ゼロは、認定ラン中のインシチュ計測で検証済みです。システムは24時間365日稼働し、計画外のダウンタイムはゼロ。すべてのサイクルを仕様内に保つ閉ループ制御により再現性が確保されています。
リソグラフィおよびパッケージングでの適用理由
リソグラフィでは、露光前にフォトレジストの粘度と密着性を調整するために一貫したソフトベイクが必要です。パッケージングでは、ハードベイク中のアウトガスや剥離を防ぎながら硬化させる必要があります。このヒーターは温度プロファイルを安定的に維持するため、ライン間およびロット間のばらつきが減少します。その結果、手戻り工程の削減、クリティカルディメンションの分布の収束、計画可能な歩留まりが得られます。エネルギー消費も削減され、目標温度に迅速に到達し、オーバーシュートなく保持、チャンバーの熱負荷を管理します。
調整すべきポイント
設置ではツールインターフェースの適合とライン電圧の安定性確認が必要で、再現性は電源電圧が±2%以内に保たれることに依存します。最適な性能を得るには、ヒーターをウエハープレーンに正確に整列させ、反射板を清潔に保つことが重要です。短時間の立ち上げランを計画し、特定のチャックおよびプロセススタックに対する熱プロファイルをマッピングしてください。

精度 on Enhance Your Warm IR Life

ウェーハ用高精度IRセンサー

電子機器用精密赤外線ヒーター