IR on Enhance Your Warm IR Life

ウェーハ用高精度IRセンサー

Mon, 27 Jul 2026 16:55:47 +0800

なぜウェーハ処理にIR硬化技術を使用するのか？半導体工場において、「清潔さ」は単なる目標ではなく、すべてを決定づける要素です。乾燥や硬化の過程でわずかな残留物が残ってしまったら、大きな問題になります。そのため、私たちは高精度なIRセンサーやエミッターを利用しています。これにより、化学溶剤や燃焼式ヒーターを全く使わなくて済みます。 空気を加熱する必要はありません。 多くの人々は、空気を加熱してそれをウェーハに伝えるという方法を思い浮かべます。しかし、これは効率が悪く、面倒です。一方、IR技術は異なります。電磁波を利用して基板内の分子を動かします。瞬時に処理が行えます。また、加熱素子によってクリーンルームの空気が汚染されることもありません。環境規制を満たしたり、金属粒子が部屋に入らないようにしたい場合、これが最適な方法です。 全体を加熱するのではなく、特定の部分だけを加熱します。 素晴らしい点は、波長を調整できることです。ウェーハ全体を加熱する代わりに、接着剤やフォトレジストの吸収帯だけを狙って加熱します。必要な部分だけを加熱するのです。これにより、多大なエネルギーを節約できます。300mmのウェーハ1枚を硬化させるために、巨大な金属製の装置を温めることはありません。また、モジュールがコンパクトなので、大きな対流式オーブンを取り除き、床面積を有効活用できます。HVACシステムにとっても好都合です。 ただし、デメリットもあります。 高強度のIR光は非常に強力です。これはウェーハを迅速に処理するのには役立ちますが、温度管理が難しくなります。センサーの精度が少しでも悪くなると、局部的に高温になってしまいます。そして、その結果、ウェーハが変形してしまいます。これを防ぐためには、高速PIDコントローラーを組み合わせて、温度が急上昇するのを防ぐ必要があります。最後に、配線には手を抜かないでください。遮蔽されたケーブルを使用しましょう。そうしないと、EMIノイズがセンサーに入り込み、測定値に影響を与えます。小さな点かもしれませんが、これが完璧な製品と不良品の違いになります。

IRエミッタ用セラミックエンドキャップ

Fri, 17 Jul 2026 02:13:23 +0800

化学処理エリアでの赤外線ヒーターの安全な使用方法
もし、化学洗浄ラインの周辺で赤外線ヒーターを使用しているのであれば、その危険性は既にご存知でしょう。そこでは、可燃性の溶剤や腐食性の蒸気が至る所に漂っています。

赤外線ランプ用アルミニウム反射器

Tue, 14 Jul 2026 11:41:47 +0800

熱を必要な場所に効率的に届ける方法

スマートな製造工場を構築する際、高効率なIRランプを選ぶのは簡単です。しかし本当に厄介なのは、その熱がどこに行くかを管理することです。
エネルギーが部屋全体を温めたり、機械の筐体を壊したりしては困ります。そこで役立つのがアルミニウム製の反射板です。これらは、放射エネルギーを目的の場所に向けて送り、他の部分には届かないようにする「交通整理員」のようなものです。

なぜアルミニウムか？

それはアルミニウムが赤外線をどのように扱うかによります。反射板がなければ、IRランプはエネルギーを360度全方向に放出してしまいます。つまり、無駄なエネルギーを使っていることになります。
しかし、精密に曲げられたアルミニウム製のハウジングを使用すれば、その無駄なエネルギーを再び対象物に戻すことができます。これはシンプルな工夫ですが、電源からの電力を増やすことなく、ワークピースへの熱流量を高めることができます。その結果、コストは変わらずに、生産性が向上します。

ファブIRランプ用クォーツスリーブ

Sun, 31 May 2026 02:54:23 +0800

リソグラフィ工程において、ソフトベークおよびハードベークは単にフォトレジストの乾燥を意味するものではない。これらはライン幅制御、サイドウォールプロファイル、ウェーハがライン全体をスムーズに流れるかどうかを決定する熱予算を設定する工程である。IRランプの性能が不安定であれば—ある箇所でのホットスポット、別の箇所でのコールドスポット—単一ロットの損失だけでなく、スクラップ、再作業、そしてプロセスマージンの徐々の減少を招く。