먼지 제거: 클래스 100 청정실을 위한 가열 방식
클래스 100 청정실에서 작업할 때는 단 한 번의 실수도 용납될 수 없습니다. 아주 작은 먼지 조각이나 히터에서 나오는 가스만으로도 반도체나 의료 기기의 품질이 크게 저하됩니다. 정말 당황스러운 일입니다. 엄청난 시간과 노력을 들여서 정밀하게 작업을 진행해도, 값싼 가열 요소 때문에 모든 것이 망칠 수 있습니다.
그래서 우리는 방식을 바꿨습니다. 고품질의 합성 석영 인프라레드 램프와 금으로 코팅된 반사판을 사용하여 완벽한 청결 상태를 유지합니다.
금 반사판의 장점
대부분의 사람들은 알루미늄 반사판을 사용합니다. 처음에는 괜찮지만, 시간이 지나면 산화되어 미세한 먼지가 생깁니다. 이 먼지들은 생산 구역으로 들어가서 문제를 일으킬 수 있습니다.
우리는 진공 증착된 금 층을 사용합니다. 금은 전혀 산화되지 않습니다. 게다가 인프라레드 복사선의 98%를 원하는 부위로 다시 반사시켜 줍니다. 그래서 에너지를 낭비하지 않고도 원하는 곳에 열을 공급할 수 있습니다.
석영의 중요성
램프 자체는 고품질의 융합 석영으로 만들어집니다. 석영은 매우 견고하여 극심한 온도 변화에도 깨지거나 실리카 입자가 떨어지지 않습니다. 텅스텐 필라멘트도 석영 속에 밀봉되어 있기 때문에, 일반적인 가열 요소처럼 고장날 염려가 없습니다.
전력 사용에 대한 주의사항
단점이 있다면, 이 장치들은 매우 강력한 열을 발생시킨다는 점입니다. 금 반사판 덕분에 열을 효율적으로 집중시킬 수 있으므로, 전력 입력을 줄여도 목표 온도에 도달할 수 있습니다. 하지만 표면 온도를 주의 깊게 관찰해야 합니다. 열이 너무 빠르게 상승할 수 있으므로, PID 컨트롤러가 그러한 속도를 감당할 수 있도록 설정되어 있어야 합니다. 그렇지 않으면 기판이 손상될 수 있습니다.
사용 방법
이 장치들은 기존의 인프라레드 램프를 간단하게 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 웨이퍼를 건조시키거나 접착제를 경화시킬 때도, 오염이 시작되기 전에 미리 막는 것이 목표입니다. 먼지도 없고, 연기도 없습니다. 오직 깨끗하고 직접적인 열만 있을 뿐입니다.