클래스 100 환경에서는 “조금이라도 먼지가 있어서는 안 됩니다”. 단 한 개의 먼지 입자나 화학 물질의 배출만으로도 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 대부분의 가열 요소들은 작동하기 시작하자마자 먼지를 방출하거나 VOC를 유출합니다.
그래서 우리는 적외선 램프에 고순도 합성 석영을 사용했습니다. 이 방식이 훨씬 더 효과적입니다.
석영이 중요한 이유
우리는 거의 불순물이 없는 융합 실리카를 사용합니다. 왜냐하면 저품질의 유리는 조금만 건드려도 부스러지기 때문입니다. 하지만 우리의 램프는 그런 문제가 없습니다.
이 램프들은 단파 적외선을 이용해 작동합니다. 주변 공기를 가열하는 대신, 에너지가 직접 작업물에 전달됩니다. 이는 바닥의 먼지가 날아오르는 것을 막아주는 엄청난 장점입니다.
또한 석영 커버는 화학적으로 비활성적이어서 공기와 반응하지 않으며, 불순물이 공장 내부로 유출되는 것도 방지합니다. 또한 밀폐 과정도 매우 철저하여 램프가 온도 변화를 겪을 때 내부의 할로겐 가스가 오염되는 것을 막습니다.
장단점 및 대처 방법
이 램프들은 속도를 위해 설계되었습니다. 작은 크기에도 불구하고 많은 와트수를 담을 수 있어서, 몇 초 만에 목표 온도에 도달할 수 있습니다. 웨이퍼나 고성능 광학 제품을 다룰 때는 이러한 정밀도가 매우 중요합니다.
하지만 단점도 있습니다. 이 램프들은 매우 뜨거워집니다. 만약 케이스가 그러한 열을 견딜 수 없다면 문제가 생길 수 있습니다. 근처의 플라스틱 부품이 변형되거나 냉각 시스템에 문제가 생길 수도 있습니다. 따라서 공기 흐름을 잘 조절해야 합니다. 램프의 전자 부품을 시원하게 유지하면서도 클린룸의 온도를 해치지 않도록 해야 합니다.
설치 및 사용 방법
이 램프들은 간단하게 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 기존 장비에 연결하기 위해 복잡한 조작이 필요하지 않습니다.
또한 제조 과정에서 생길 수 있는 오염 물질들을 제거하기 위해, 우리는 램프의 전선들을 깨끗하게 청소합니다. 그러니 바로 연결해서 사용할 수 있습니다. 오염 물질을 제거하기 위해 몇 시간을 들일 필요는 없습니다.