과연, 일반적인 적외선 램프로 그 비싼 반도체 부품을 대체할 수 있을까요?
작업 현장에서는 이런 질문이 자주 제기됩니다. 과연 평범한 적외선 가열 램프로 비용을 크게 절감하면서도, 예전에 사용되던 비싼 반도체 부품을 대체할 수 있을까요?
문제는 단순히 가격뿐만이 아닙니다. 엔지니어링적인 측면도 중요합니다. 우리는 원래 장비와 동일한 성능을 내도록 솔루션을 설계했습니다.
세부 사항: 전력, 전압, 그리고 크기
리소그래피 과정에서는 열을 조절하는 데 매우 정밀한 제어가 필요합니다. 그래서 우리는 원본 장비와 동일한 전력 밀도를 유지해야 했습니다.
우리의 적외선 램프는 고전압, 보통 400V를 사용하여 작동합니다. 이를 통해 작은 공간 안에서도 충분한 에너지를 공급할 수 있습니다. 이러한 고전압 방식 덕분에 전류 소비가 줄어들어, 배선 및 내부 전자 부품에 가해지는 부담도 줄어듭니다.
크기方面도 마찬가지입니다. 우리는 램프의 길이를 포함한 물리적 크기를 표준 300mm 기판 장비와 일치시켰습니다. 이렇게 하면 가열 영역이 기판과 완벽하게 일치하여, 웨이퍼 전체가 손상되는 것을 방지할 수 있습니다.
램프의 구성 요소: 석영, 코팅, 그리고 적절한 커넥터
램프의 핵심은 고순도 석영관입니다. 석영관은 급격한 온도 변화에도 견딜 수 있으며, 적외선을 효과적으로 전달할 수 있습니다.
필라멘트의 뒷면에는 특수한 반사층이 코팅되어 있어 에너지가 앞쪽으로 전달되도록 합니다. 이를 통해 효율성이 향상됩니다. 또한, 특정 파장의 빛을 차단하여 포토레지스트를 처리하는 데 필요한 적절한 열이 생성됩니다.
그리고 커넥터도 중요합니다. 우리는 산업 표준인 R7s 커넥터를 사용합니다. 따라서 기존의 소켓에 바로 연결할 수 있습니다. 별도의 배선 작업이 필요 없습니다.
작동 원리 및 주의사항
소프트 베이크 과정의 목적은 포토레지스트의 용매를 신속하고 균일하게 증발시키는 것입니다. 우리의 램프는 강력한 적외선 열을 발산하여 이 과정을 가속화합니다. 이를 통해 생산 효율이 향상됩니다.
R7s 커넥터 덕분에 이 램프는 원래 장비를 그대로 대체할 수 있습니다. 정말로 멈추는 시간이 없습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 400V, 2500W의 램프는 많은 열을 발생시킵니다. 따라서 기계의 냉각 시스템이 충분해야 합니다. 냉각이 제대로 되지 않으면 램프의 온도가 너무 높아져 수명이 단축됩니다.
우리는 항상 고객들에게 교체하기 전에 냉각 시스템을 꼭 확인하라고 조언합니다.
이렇게 해서 우리는 비용 문제를 해결할 수 있습니다. 적절한 사양과 포장으로, OEM의 추가 비용 없이 제품을 제공합니다.