http://warm-ir-life.com/ko/tags/%EC%86%8C%EB%A7%A4/ Recent content in 소매 on Enhance Your Warm IR Life Hugo ko Sun, 31 May 2026 02:54:23 +0800 http://warm-ir-life.com/ko/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Sun, 31 May 2026 02:54:23 +0800 http://warm-ir-life.com/ko/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-life.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="패브 IR 램프용 쿼츠 슬리브"></p> <p>리소그래피 공정에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순히 포토레지스트를 건조하는 것을 넘어선다. 이 과정들은 라인폭 제어, 사이드월 프로파일, 그리고 웨이퍼가 라인의 나머지 공정을 원활하게 통과하는지를 결정하는 열 예산을 설정한다. IR 램프 성능이 떨어져 특정 지점에 과열이 발생하거나 다른 곳은 냉각되는 경우, 단순히 한 로트만 손실되는 것이 아니다. 스크랩, 재작업, 그리고 공정 마진의 점진적 감소가 발생한다.<br> 우리는 그 변동성을 원천적으로 차단하기 위해, 즉 램프가 프로세스 챔버와 접하는 지점에서 열, 청정도, 재현성이 모두 충돌하는 곳에 대응하기 위해 반도체 공정용 IR 램프용 석영 슬리브를 개발했다.</p>