팹 조립 워크숍 히터

팹 내에서의 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 “열처리 과정”이 아닙니다. 이는 제품의 품질을 결정하는 중요한 요소입니다. 리소그래피 공정 중 웨이퍼의 온도가 1°C만 변해도 중요한 치수들이 변할 수 있으며, 가열 과정에서 발생하는 입자들은 다이를 손상시켜 결국...