웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

Sat, 11 Jul 2026 05:43:22 +0800

왜 웨이퍼 가공에는 적외선 가열이 강제 공기 순환 방식보다 우수한가요?
만약 여전히 웨이퍼 가공을 위해 공기 순환 방식을 사용하고 있다면, 그건 마치 물리법칙과 싸우는 것과 같습니다.
생각해보세요. 강제 공기 순환 방식에서는 웨이퍼가 열을 느끼기 전에 먼저 챔버 내의 모든 공기 분자들을 데워야 합니다. 이는 매우 느린 과정입니다. 그리고 제조 공장에서는 매초가 금값과 같으므로, 이러한 지연은 치명적인 문제가 됩니다.
비결은 중간 단계를 생략하는 것입니다.
적외선 가열은 공기에 신경 쓰지 않습니다. 전자기 방사선을 이용해 웨이퍼 표면에 직접 열을 가합니다. 챔버가 “따뜻해질” 때까지 기다릴 필요가 없습니다. 거의 즉시 작동합니다. 대량 생산 시에는, 각 단계마다 몇 초라도 시간을 절약할 수 있다면 그것만으로도 매주 몇 시간의 생산 시간을 절약할 수 있습니다.
게다가, 우리 모두는 “차가운 부분”이라는 문제를 겪어봤습니다. 공기 순환 방식은 혼란스럽고, 웨이퍼의 모든 부분에 고르게 열이 전달되지 않습니다.
적외선 가열 방식을 사용하면 열을 특정 부위에 집중시킬 수 있습니다. 특정 램프의 출력을 조절함으로써 열 분포를 균일하게 만들 수 있습니다. 그래서 더 이상 웨이퍼의 가장자리를 과도하게 가열할 필요가 없습니다.
물론, 모든 것이 완벽한 것은 아닙니다. 몇 가지 단점도 있습니다.
적외선 가열은 매우 강력하기 때문에, PID 제어가 제대로 되지 않으면 목표 온도를 초과할 수 있습니다. 또한 센서도 반드시 정확하게 작동해야 합니다. 그렇지 않으면 급격한 온도 변화에 대응할 수 없습니다.
그리고 한 가지 주의할 점은, 만약 냉각 시스템이 약하다면, 그 열이 곧바로 장비의 본체로 전달되어 문제가 생길 수 있습니다.
하지만 솔직히 말해서, 규모를 확장하려는 모든 제조 공장에게 이 방식이 가장 좋은 해결책입니다. 공기와 싸우는 대신, 광자를 제어하여 프로세스 시간을 단축시키는 것이죠.

어플라이드 머티어리얼즈 장비용 적외선 램프

Mon, 01 Jun 2026 00:14:56 +0800

라인 공정에서 베이크 모듈은 매 교대마다 느껴지는 조용한 병목 구간이다. 레시피를 설정하면 모델이 예측한 온도에 도달할 것으로 기대하고, 그 온도가 사이클마다 일정하게 유지되기를 기대한다. 램프 출력이 부족하면 포토레지스트가 완전히 탈용매되지 않아 중요한 치수 제어가 흔들리기 시작한다. 반대로 출력이 과하면 레지스트가 흐르고 스컴이 발생하며, 원래 양품이었어야 할 웨이퍼를 폐기하게 된다. 어느 쪽이든 OEE는 낮아지고, 긴급 램프 교체 일정이 빠르게 채워진다.
우리는 Applied Materials 장비용 적외선 램프 라인을 설계했다. 리소그래피에서 열 제어는 선택 사항이 아니라 프로세스가 안정적인지, 아니면 단지 기대에 불과한지를 결정하는 경계 조건이다.

Tool on Enhance Your Warm IR Life

웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

어플라이드 머티어리얼즈 장비용 적외선 램프