In de productiehal zijn de processen van zacht en hard bakken geen eenvoudige ‘thermische stappen’. Het gaat om factoren die de kwaliteit van het eindproduct bepalen. Een verschil van 1°C in temperatuur tijdens het bakproces kan leiden tot afwijkingen in de belangrijkste dimensies van het chip. Bovendien kan het ontstaan van deeltjes tijdens het verhitten ervoor zorgen dat de chip al voor het snijden beschadigd raakt. Er is dus een verwarmingsapparaat nodig dat zich houdt aan de thermische vereisten en aan de regels voor schone ruimtes.
Wij hebben onze verwarmingsapparaten gebouwd met behulp van kortegolflange infrarode kwartsemitters en een systeem voor geforceerde luchtcirculatie. Hierdoor blijft de temperatuur op het chipoppervlak binnen een marge van ±0,1°C. De herhaalbaarheid van de temperatuur is ±0,5°C, zodat dezelfde thermische omstandigheden steeds weer worden bereikt.
De materialen die worden gebruikt in de apparaten geven nauwelijks gassen af. De luchtpaden zijn compatibel met HEPA-filtering, zodat er maar weinig deeltjes in de ruimte terechtkomen. Nul deeltjesproductie is geen slogan – dit wordt gewaarborgd door interne filtering en oppervlakken die geen vuil kunnen opslaan. De energieverbruik wordt aangepast aan de vereisten van het proces, zodat er geen onnodige warmte wordt gegenereerd en de kosten voorspelbaar blijven.
Bij de productie van chips zijn er strenge tijds- en temperatuurregels voor het bakproces. De verwarmingsapparaten zorgen ervoor dat de temperatuur constant blijft, zodat er minder afwijkingen optreden en de kwaliteit van het product verbetert. De compatibiliteit met schone ruimtes zorgt er bovendien voor dat het aantal deeltjes geminimaliseerd wordt. Dit is belangrijk bij geavanceerde productieprocessen. De apparaten zijn ontworpen om 24/7 te werken, met componenten die continu werken en onderhoudsintervallen die zijn gericht op preventief onderhoud, in plaats van plotselinge stilstand.
Het apparaat heeft een stabiele stroomvoorziening nodig, evenals een afvoersysteem dat voldoet aan de vereisten van schone ruimtes. Eventuele aanpassingen hangen af van de indeling van de productielijn en kunnen leiden tot korte stilstanden. Zorg ervoor dat de interfaces en bedieningspanelen passen bij wat u al hebt.
Wij leveren dimensionele tekeningen en een checklist voor de inbedrijfstelling, zodat de integratie soepel verloopt. Plan echter ruim van tevoren de benodigde infrastructuur in – anders zal dit de productie vertragen.