Op het gebied van temperatuur heeft zelfs een kleine verandering van maar 0,3°C invloed op het profiel van de photoresist. Hierdoor ontstaan er fouten tijdens de lithografieproces, stijgt het aantal afvalproducten en verslechtert de planning. De prestaties van de lampen voor het drogen van de wafers zijn geen theoretisch concept – het gaat om herhaalbare temperatuurbeheersing en het voorkomen van partikelvorming tijdens het proces.
Wat technisch gezien belangrijk is: We hebben de reflectoren zo ontworpen dat ze optimaal werken met NIR-lampen. Hierdoor komt het licht op een manier terecht dat de wafer zich in een uniforme thermische omgeving bevindt. De nauwkeurigheid ligt op ±0,1°C, zodat er geen hete plekken of oneffenheden ontstaan. Dit zorgt voor stabiliteit in de thermische omstandigheden, wat weer belangrijk is voor het proces van het drogen van de photoresist.
De materialen en oppervlakken die worden gebruikt, zijn gekozen om een hoge reflectie van NIR-straling te bieden en om minimale uitstoot van gasen te hebben. Hierdoor blijft het aantal partikels constant. Het ontwerp zorgt ervoor dat hetzelfde profiel wordt behouden bij elke behandeling, zodat de procesparameters voorspelbaar blijven.
Waarom dit werkt in de praktijk: Herhaalbaarheid is cruciaal: dezelfde lampprestaties, dezelfde waartemperatuur, shift na shift. Dit zorgt voor betere controle over de kritieke dimensies, minder herwerkingswerk en stabiele resultaten. De energieverbruik neemt af, omdat de reflectoren het licht op de juiste plek concentreren, in plaats van overtollige warmte af te geven aan de apparatuur en schermen.
Betrouwbaarheid is belangrijk: onze apparaten kunnen meer dan 5.000 uur lang draaien met minder dan 5% daling in de prestaties. Er is minder onverwachte stilstand, zodat het droogproces op tempo kan blijven met de rest van het productieproces.
Wat je moet onthouden: De toleranties bij installatie zijn erg streng. De positie van de lampen en de reflectoren moet precies binnen de voorgeschreven grenzen blijven. Anders wordt de uniformiteit verstoord. De reflectoren zijn geoptimaliseerd voor een bepaald NIR-spectrum; als je de lampen vervangt zonder ze opnieuw te kalibreren, zal het thermische profiel veranderen.
Er is een korte inrichtingsperiode nodig om de prestaties te stabiliseren. Daarna kun je de vereiste parameters instellen en de SPC-limieten vastleggen.