Zachowanie waferów w stanie czystości: lepszy sposób grzania
Jeśli pracujesz w pomieszczeniu o czystości klasy 100, doskonale wiesz, z czym mamy do czynienia. Jeden mały pyłek lub odrobinę materiału może zniszczyć całą partię waferów. To prawdziwy koszmar. Większość standardowych grzewców nie nadaje się do takich zadań – uwalniają gazy lub cząsteczki dokładnie wtedy, gdy potrzebna jest ich stabilność.
Dlatego postanowiliśmy użyć lamp IR na bazie syntetycznego kwarcu o wysokiej czystości. To nie są zwykłe grzewce. Usunęliśmy z nich metaliczne zanieczyszczenia i organiczne resztki, które zwykle powodują zanieczyszczenia podczas intensywnych procesów grzewczych.
Sekret leży w samym kwarcu.
Używamy krzemionki stopionej, która charakteryzuje się niezwykle niskim poziomem zanieczyszczeń. Dzięki temu jony nie mogą „dostawać się” do substratu półprzewodnikowego. Można uznać, że ta warstwa kwarcu stanowi szczelną barierę dla żarnika z wolframu. Nic nie może wydostać się na zewnątrz.
Ponadto, dzięki użyciu krótkofalowego spektrum IR, ciepło dociera bezpośrednio do celu. Nie nagrzewa ono powietrza wokół. Twój system HVAC będzie ci wdzięczny za to, że nie musi pracować nadmiernie intensywnie.
Kilka uwag:
Te lampy zostały zaprojektowane z myślą o szybkości i precyzji. Można dostosować moc i napięcie do dostępnych źródeł zasilania.
Ale istnieje jeden problem: lampy te są bardzo potężne, więc kwarc może stać się delikatny. Jeśli dojdzie do nagłego szoku termicznego, lampy mogą się popękać. Lepiej stopniowo zwiększać moc – powolne i regularne działanie przynosi najlepsze rezultaty.
Jak je zainstalować:
Lampy te zostały zaprojektowane jako zamienniki dla obecnych urządzeń grzewczych. Używamy specjalnych złączy, aby zapewnić szczelność elektryczną, dzięki czemu gazy halogenowe pozostają wewnątrz lampy.
Ostatnia rada: jeśli chcesz umieścić te lampy w układzie o dużej gęstości, sprawdź dobrze elementy chłodzące. Ciepło jest tu bardzo intensywne. Jeśli przepływ powietrza będzie słaby, możesz uszkodzić kable – a nikt nie chce się z tym mierzyć.