Dlaczego używamy technologii UV do obróbki płytek krzemowych
W zakładach produkcyjnych półprzewodników „czystość” to nie tylko cel – to wszystko. Jeśli podczas suszenia lub utwardzania pozostanie choćby niewielka ilość resztek, pojawi się problem. Dlatego korzystamy z precyzyjnych czujników i emiterów UV. Dzięki temu możemy całkowicie zrezygnować z chemicznych rozpuszczalników oraz grzejników opartych na procesie spalania.
Zapomnijmy o podgrzewaniu powietrza.
Większość ludzi myśli o piecach, w których podgrzewa się powietrze, mając nadzieję, że to ciepło przeniesie się na płytkę krzemową. To wolne i nieefektywne rozwiązanie.
Technologia UV jest inna – wykorzystuje promieniowanie elektromagnetyczne, aby poruszyć cząsteczki znajdujące się w samym substracie. Działa natychmiastowo. Ponadto nie ma potrzeby używania elementów grzewczych, które mogłyby powodować zanieczyszczenie powietrza w pomieszczeniu. Jeśli chcesz spełnić normy ekologiczne lub uniknąć zanieczyszczeń metalicznymi substancjami, to jest właśnie najlepsze rozwiązanie.
Celujemy w konkretny obszar, a nie w całe pomieszczenie.
Fajne jest to, że możemy dostosować długość fali. Zamiast podgrzewać całą płytkę krzemową, skupiamy się na konkretnych obszarach, gdzie dochodzi do absorpcji światła. W ten sposób podgrzewamy tylko to, co jest konieczne. To pozwala zaoszczędzić mnóstwo energii. Nie tracimy mocy na podgrzewanie ogromnego metalowego obudowania tylko po to, aby utwardzić jedną płytkę o średnicy 300 mm. A ponieważ moduły są tak kompaktowe, można usunąć dużych pieców konwekcyjnych i zwolnić przestrzeń na podłodze. System HVAC również będzie ci wdzięczny.
Jednak istnieją pewne ograniczenia…
Wysoka intensywność światła UV sprawia, że proces utwardzania przebiega szybko, ale jednocześnie sprawia to problemy z kontrolą temperatury. Jeśli czujniki dadzą błędne dane, pojawią się lokalne „gorące punkty”. A to z kolei może doprowadzić do zniekształcenia płytek krzemowych. Aby temu zapobiec, należy używać emiterów UV w połączeniu z szybkimi kontrolerami PID, aby utrzymać temperaturę na stałym poziomie.
Ostatnia rada: nie oszczędzaj na kablu. Używaj kabli z osłoną. W przeciwnym razie szumy elektromagnetyczne mogą wpłynąć na działanie czujników i zakłócić ich odczyty. To drobny detal, ale decyduje o tym, czy uzyskamy doskonałe wyniki, czy też produkt uszkodzony.