
Получение дополнительного тепла там, где это действительно необходимо
Если вы когда-либо находились в чистой комнате для производства полупроводников, вы знаете, с какими трудностями связано использование нагревателей. Необходимо, чтобы поверхность пластины достигала определенной температуры, но при этом остальное оборудование не должно превращаться в огромный радиатор.
Большинство людей начинают с использования стандартных алюминиевых отражателей. Но в чем проблема? Алюминий является отличным поглотителем инфракрасного излучения. Это значит, что энергия тратится впустую на нагрев самого корпуса нагревателя.
Вот тут и приходит на помощь золото.
Кажется, что это сложно, но на самом деле речь идет о физике. Золото отлично отражает ближнее инфракрасное излучение. Когда мы заменяем алюминий на золотую покрытие, тепло перестает поглощаться корпусом нагревателя и направляется прямо на пластину. Таким образом достигается более точный контроль температуры, а также снижается расход энергии.
Кроме того, это упрощает работу системы кондиционирования воздуха. Поскольку тепло больше не “распространяется” по всей комнате, системе охлаждения не нужно работать с повышенной нагрузкой, чтобы предотвратить перегрев чистой комнаты.
Но есть один недостаток: золото мягкое. Если сотрудники, ответственные за обслуживание, случайно поцарапают поверхность золотого покрытия, это может привести к снижению эффективности работы нагревателя. Несколько царапин могут привести к появлению точек повышенной температуры на пластине. Следует обращаться с этим материалом очень осторожно.
А теперь о цене. Да, золото дорогое. Но если вы используете линии для производства пластин диаметром 300 мм, где крайне важна однородность температуры, то затраты окупятся. Вы сможете использовать нагреватели с меньшей мощностью, при этом все равно достигая необходимой температуры. Это также снизит нагрузку на источники питания.
Еще один совет: подключите нагреватели к контроллеру типа PID. Это единственный правильный способ. И ни в коем случае не пытайтесь “исправить” изношенный отражатель, увеличивая мощность нагревателя. Это приведет к быстрому износу филаментов. Просто соблюдайте рекомендуемые параметры и позвольте золоту выполнять свою работу.