На линии длиной 300 мм достаточно лишь полуградусного смещения температуры во время процедуры мягкой обработки или постепенного повышения температуры для жесткой обработки, чтобы это привело к смещению CD-дисков, возникновению дефектов и снижению качества продукции. Мы разработали лампу с двумя трубками и золотым покрытием, которая помогает устранить эти термические нестабильности в процессе обработки.
Что имеет значение с технической точки зрения
Лампа с двумя трубками и золотым покрытием излучает коротковолновое инфракрасное излучение, которое направляется непосредственно на фоторезист и другие материалы. Золотое покрытие отражает инфракрасные лучи обратно на цель, что повышает эффективность работы лампы и снижает её температуру – это, в свою очередь, снижает риск возникновения дефектов.
При работе лампы на всей площади пластины температура сохраняется на уровне ±0,1°C. После открытия и закрытия дверцы печи температура быстро стабилизируется. Эффективность работы лампы сохраняется в течение более 5,000 часов, при этом отклонение интенсивности излучения составляет менее 5%. Это позволяет проводить процесс без постоянной настройки параметров.
Лампа может использоваться в стандартных установках с двумя лампами в печах и модулях для сушки. Она совместима с чистыми помещениями класса 1–100. При нормальном потоке воздуха она не создает частиц.
Почему это работает на практике
При сушке пластин лампа удаляет поверхностную влагу, не повреждая при этом слои материала. Это снижает количество дефектов. В процессе литографии лампа обеспечивает более точный контроль температуры, что снижает риск возникновения дефектов. Это позволяет сократить время обработки, снизить энергопотребление и уменьшить количество бракованных изделий.
На что следует обратить внимание
Необходимо сочетать лампу с геометрией отражателя и потоком воздуха в печи. Если отражатель находится не в правильном положении, возникнут «горячие точки». Если поток воздуха слабый, температура лампы повышается, что сокращает срок её службы.
Золотое покрытие выдерживает воздействие растворителей и агрессивных чистящих сред. Необходимо использовать разрешенные методы чистки и не трогать покрытую поверхность. При правильной установке лампа может работать 24/7 с минимальными затратами на техническое обслуживание.