Почему мы используем инфракрасное излучение для обработки полупроводниковых пластин
На производствах полупроводников «чистота» — это не просто цель; это самое важное. Если при сушке или обработке останутся даже крошечные остатки веществ, это станет проблемой. Поэтому мы используем точные инфракрасные датчики и излучатели. Это позволяет нам полностью отказаться от использования химических растворителей и нагревательных устройств.
Забудьте о нагревании воздуха.
Большинство людей представляют себе печи, в которых нагревается воздух, а затем он передается на пластину. Этот процесс медленный и неэффективный. Инфракрасное излучение работает иначе: оно использует электромагнитное излучение для возбуждения молекул в самой пластине. Этот процесс происходит мгновенно. К тому же нет необходимости использовать нагревательные элементы, которые могут вызвать загрязнение чистой комнаты. Если вы хотите соблюдать экологические стандарты или избежать металлического загрязнения в помещении, это лучший способ.
Мы можем контролировать длину волны излучения. Вместо того чтобы нагревать всю пластину, мы фокусируем воздействие на определенные участки поверхности пластины, где происходит адгезия клея или фоторезиста. Таким образом мы нагреваем только те участки, которые действительно нуждаются в нагреве. Это позволяет сэкономить массу энергии. Вы не будете тратить энергию на нагрев огромного металлического корпуса ради обработки одной пластины диаметром 300 мм. Кроме того, благодаря компактности устройств можно избавиться от больших конвекционных печей и освободить пространство. Ваша система вентиляции также будет благодарна за это.
Но есть и недостатки…
Высокая интенсивность инфракрасного излучения может привести к проблемам с температурным регулированием. Если датчики работают некорректно, возникают локальные «горячие точки», что приводит к искажению формы пластины. Чтобы этого избежать, необходимо использовать устройства с высокоскоростными контроллерами PID для поддержания стабильной температуры.
Еще один совет: не экономьте на кабелях. Используйте экранированные кабели. В противном случае шумы EMI могут повлиять на работу датчиков и исказить показания. Это незначительная деталь, но именно она определяет качество продукции.