На производственном участке температурный выброс во время запекания фоторезиста или дрейф на этапе сушки — это не «сбой». Это проявляется в изменении...

На литографическом участке мягкий и твёрдый обжиг — это не просто сушка фоторезиста. Они задают тепловой бюджет, который определяет контроль ширины...