Датчик температуры для инструмента для пластин

Sat, 11 Jul 2026 05:43:20 +0800

Почему инфракрасное нагревание лучше, чем использование принудительной циркуляции воздуха при обработке пластин
Если вы по-прежнему используете принудительную циркуляцию воздуха для нагрева пластин, вы фактически боретесь с законами физики.
Подумайте об этом: при использовании принудительной циркуляции воздуха необходимо нагреть всю камеру — каждую молекулу воздуха внутри нее — прежде чем пластина начнет ощущать тепло. Этот процесс занимает много времени. А в заводах, где каждая секунда имеет значение, такая задержка становится серьезной проблемой.
Секрет заключается в отказе от использования воздуха в качестве посредника.
Инфракрасное нагревание не зависит от состояния воздуха. Оно использует электромагнитное излучение для непосредственного нагрева поверхности пластины. Не нужно ждать, пока камера «нагреется». Все происходит почти мгновенно. Когда речь идет о массовой обработке пластин, экономия нескольких секунд на каждый цикл значительно сокращает время работы оборудования.
К тому же, мы все сталкивались с проблемой «холодных зон». Принудительная циркуляция воздуха не позволяет равномерно нагреть всю поверхность пластины.
С помощью инфракрасных элементов можно контролировать распределение тепла. Достаточно просто регулировать мощность осветительных элементов, чтобы сделать температурный профиль более равномерным. Это позволяет избежать чрезмерного нагрева краев пластины, чтобы центр оставался достаточно горячим.
Но это не волшебство. Есть некоторые недостатки.
Инфракрасное излучение действует очень интенсивно. Поэтому, если параметры системы управления не настроены правильно, легко превысить заданную температуру. Также необходимо тщательно проверять датчики — они должны быть способны справляться с такими резкими изменениями температуры.
Еще один недостаток: если система охлаждения слабая, инфракрасное излучение может проникнуть в корпус оборудования и повлиять на его работу.
Но, честно говоря, для любого завода, который хочет расширять свои масштабы производства, это лучший вариант. Не стоит бороться с воздухом — просто контролируйте фотоны и сокращайте время выполнения операций.

Инфракрасная лампа для оборудования Applied Materials

Mon, 01 Jun 2026 00:14:56 +0800

На линии модуль выпекания — это тихое узкое место, которое ощущается на каждой смене. Вы задаёте рецепт, ожидаете, что температура достигнет показателя, предсказанного моделью, и сохранится на этом уровне — цикл за циклом. Когда лампа недогревает, фоторезист полностью не дезсолватируется, и начинается дрейф контроля критических размеров. Когда температура превышена, резист течёт, появляется налёт, и приходится списывать пластины, которые могли быть годными. В любом случае OEE снижается, а календарь обслуживания быстро заполняется аварийными заменами ламп.

Tool on Enhance Your Warm IR Life

Датчик температуры для инструмента для пластин

Инфракрасная лампа для оборудования Applied Materials