ทำไมเราถึงใช้เทคโนโลยี IR ในการประมวลผลแผ่นวัสดุ ในโรงงานผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ “ความสะอาด” ไม่ใช่เพียงเป้าหมายเท่านั้น แต่เป็นสิ่งสำคัญที่สุดเลย...

บนพื้นโรงงาน การอบ photoresist ไม่ใช่ทางเลือก — นี่คืองบประมาณความร้อนของคุณ การเพิ่มอุณหภูมิ soft bake หรือ hard bake เพียง 2°C...