บนพื้นที่ผลิต อุณหภูมิที่ผิดปกติระหว่างการอบ photoresist หรือการเปลี่ยนแปลงในขั้นตอนการอบแห้งไม่ใช่ “ความผิดพลาด”...

บนชั้นลิโธกราฟี การอบแบบ soft bake และ hard bake ไม่ได้หมายถึงแค่การทำให้ photoresist แห้งเท่านั้น...