ปลอกควอตซ์สำหรับหลอดไฟ IR ในโรงงาน

บนชั้นลิโธกราฟี การอบแบบ soft bake และ hard bake ไม่ได้หมายถึงแค่การทำให้ photoresist แห้งเท่านั้น...