Basit bir kızılötesi lamba gerçekten o pahalı yarı iletken parçaların yerini alabilir mi?
Atölyelerde bu soruyu sürekli duyuyoruz: Normal bir kızılötesi ısıtma lambası gerçekten maliyetleri düşürebilir ve o pahalı yarı iletken parçaların yerini alabilir mi?
Bu sadece fiyatla ilgili bir durum değil; aynı zamanda mühendislik açısından da önemli. Çözümümüzü orijinal ekipmanlara uygun şekilde geliştirdik; böylece her türlü gereksinimi karşılayarak cihazın düzgün çalışmasını sağladık.
Güç, voltaj ve uyumluluk
Litografide kullanılan kızılötesi ısıtıcıların hassas bir şekilde kontrol edilmesi gerekiyor. Bu yüzden orijinal cihazın güç yoğunluğuna uyum sağlamamız gerekti.
Kızılötesi lambamız yüksek voltajda – genellikle 400V – çalışır; böylece küçük bir alanda yüksek güç üretebilir. Bu yüksek voltaj sayesinde akım tüketimi düşer; bu da kablolar ve iç elektrik bileşenleri üzerindeki yükü azaltır.
Fiziksel boyutlar konusunda ise, tüp uzunluğu da dahil olmak üzere standart 300mm’lik substrat ekipmanlarına uyum sağlıyoruz. Böylece ısıtma bölgesi substratla tam olarak hizalanır ve böylece tüm waferlerin bozulmasını engelleriz.
İç kısım: Kuvars, kaplama ve uygun konektör
Lambanın kalbi, yüksek saflıkta kuvars tüpüdür. Bu tüp, hızlı sıcaklık değişimlerine dayanıklıdır ve kızılötesi ışığın geçişine izin verir.
Filamentin arka kısmına özel bir yansıtıcı katman uygulanır; bu da enerjinin daha etkili bir şekilde iletilmesini sağlar. Ön kısım da işlenerek belirli dalga boyları filtrelenir; böylece ısı profilinin fotoresisti kurutmak için ideal olması sağlanır.
Konnektör konusunda ise R7s standardını kullanıyoruz; bu da cihazın mevcut prizlere doğrudan bağlanabilmesini sağlar. Yeni kablo döşemesine gerek yoktur.
Nasıl çalışır ve bilmeniz gerekenler
“Yumuşak pişirme” işleminin amacı, fotoresistteki çözücünün hızlı ve eşit bir şekilde buharlaştırılmasıdır. Lambamız, fotoresist tabakasını yüksek yoğunlukta kızılötesi ısıyla ısıtarak işlemi hızlandırır ve verimi artırır.
R7s konektör sayesinde lamba gerçekten kolayca yerine takılabilir. Hiçbir kesinti olmaz.
Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta var: 400V, 2500W gücündeki bir lamba çok fazla ısı üretir. Bu nedenle makinenizin soğutma sisteminin yeterli olması gerekir. Eğer soğutma yetersizse, lamba gereğinden fazla ısınır ve bu da ömrünü kısaltır.
Müşterilerimize her zaman şunu söylüyoruz: Değişiklik yapmadan önce soğutma özelliklerinizi kontrol edin.
İşte böylece fiyat konusundaki belirsizlikleri ortadan kaldırıyoruz. Doğru özellikleri, doğru pakette ve OEM marka bedelleri olmadan sunuyoruz.