Asıl önemli olan yerlere daha fazla ısı sağlamak
Eğer bir yarı iletken temiz odasında zaman geçirdiyseniz, römork tipi ısıtıcılarla ilgili sorunları biliyorsunuzdur. Wafer yüzeyinin belirli bir sıcaklığa ulaşması gerekiyor; ancak diğer ekipmanların devasa bir ısı yayıcısına dönüşmesine izin veremezsiniz.
Çoğu kişi standart alüminyum yansıtıcılar kullanır. Sorun şu ki, alüminyum oldukça iyi bir ısı emicisidir. Çok fazla kızılötesi ışın emer; bu da ısıtıcının kendisinin ısınması için enerji israf edilmesi anlamına gelir.
İşte burada altın devreye giriyor.
Kulağa pahalı geliyor olabilir, ancak aslında bu tamamen fizikle ilgili bir durumdur. Altın, yakın kızılötesi ışığı geri yansıtmada mükemmeldir. Alüminyum yerine altın kaplamalar kullanıldığında, ısı artık ısıtıcının gövdesine sızmaz ve doğrudan waferin üzerine yönlendirilir. Böylece daha düzenli bir ısı dağılımı elde edilir ve elektrik faturası da çok daha düşük olur.
Ayrıca, HVAC sistemleri açısından da işleriniz kolaylaşır. Odaya ısı sızmaması sayesinde, soğutma sistemi temiz odanın aşırı ısınmasını önlemek için fazladan çalışmak zorunda kalmaz.
Ancak burada bir sorun var: Altın yumuşaktır. Eğer bakım ekibiniz lambaları değiştirirken yüzeyi çizerse, sorunlar başlar. Birkaç çizik bile verimliliğinizi düşürebilir; hatta daha kötüsü, wafer üzerinde sıcak noktalar oluşabilir. Bu yüzden altınla çalışırken dikkatli olmak gerekir.
Şimdi de para konusuna gelelim. Evet, altın pahalıdır. Başlangıçta daha fazla maliyet gerektirir. Ancak eğer sıcaklık homojenliğinin çok önemli olduğu 300 mm’lik wafer hatları kullanıyorsanız, bu maliyet kendini telafi eder. Lambaları daha düşük güçte çalıştırarak hedeflerinize ulaşabilirsiniz; böylece güç kaynaklarınız aşırı yük altında kalmaz.
Son bir tavsiye: Bunları bir PID kontrol cihazına bağlayın. Bu, en iyi çözündür.
Ve ne yaparsanız yapın, aşınmış yansıtıcıları lambanın gücünü artırarak “onarmaya” çalışmayın. Böyle yaparsanız filamanlarınız çok daha hızlı yanar. Lütfen kaplama için önerilen ayarları kullanın ve işin zor kısmını altına bırakın.