300 mm’lik hatlarda, yumuşak pişirme işlemi sırasında veya sert pişirme işlemine geçiş sırasında meydana gelen yarım derecelik bir sapma bile CD’lerin yer değiştirmesine, TTop oluşumuna ve verimliliğin düşmesine neden olabilir. Bu tür termal belirsizlikleri ortadan kaldırmak için çift tüplü, altın kaplamalı lambalar kullanıyoruz.
Teknik olarak önemli olanlar Çift tüplü, altın kaplamalı lambalar, kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar yayar; bu ışınlar doğrudan fotoresist ve filmlere ulaşır. Altın kaplama, kızılötesi ışınları tekrar hedefe yansıtır; bu sayede verimlilik artar ve tüpün maksimum sıcaklığı düşer – böylece parçacık oluşumu riski azalır.
Wafer üzerinde istenen sıcaklıkta ±0,1°C’lik bir düzgünlük sağlanır ve kapı açılıp kapanmasından sonra hızla bu durum korunur. 5.000 saatten fazla süre boyunca çıktı stabil kalır ve yoğunlukta %5’ten daha az bir değişim olur; bu sayede süreç sürekli ayarlamalar yapılmasına gerek kalmadan devam eder.
Bu lambalar, raylı fırınlar ve kurutma modüllerinde kullanılabilir. Cleanroom Class 1–100 standartlarına uygundur ve normal hava akışı koşullarında parçacık üretmez.
Neden işe yarıyor? Wafer kurutma işleminde, lamba yüzeydeki nemi alırken filmi zarar vermez; böylece termal bütçenizi harcayacak kusurlar ortadan kalkar. Litografide ise daha dar bir termal aralıkla yumuşak ve sert pişirme işlemleri gerçekleştirilir; bu da dalga boylarını azaltır ve daha iyi bir kontrol sağlar.
Böylece daha kısa pişirme süreleri, daha düşük enerji tüketimi ve daha az atık elde edilir. Partiler arasında reçete ayarlamaları daha az gereklidir ve kaplama düzgün kalır; çünkü lamba her seferinde aynı termal profili tekrarlar.
Dikkat edilmesi gerekenler Lambayı, reflektörün geometrisi ve fırının hava akışıyla uyumlu hale getirmek gerekir. Eğer reflektör doğru yerde değilse, sıcak noktalar oluşur. Hava akışı zayıfsa, tüpün sıcaklığı artar ve ömrü kısalır.
Altın kaplama dayanıklıdır, ancak çözücüler ve agresif temizleme yöntemlerine karşı hassastır. Onaylanmış temizleme yöntemleri kullanılmalı ve kaplı yüzeye dokunulmamalıdır. Doğru şekilde monte edildiğinde, çift tüplü, altın kaplamalı lamba 24/7 çalışır ve bakımı kolaydır; böylece süreç istenen seviyede kalır.