300 ملی میٹر لمبائی والی لائن پر، نرم بیکنگ کے دوران آدھا ڈگری کا اختلاف، یا سخت بیکنگ کے دوران بھی اسی قسم کا اختلاف، سی ڈیز کو حرکت دینے کے لئے کافی ہے؛ اس سے پروڈکشن میں خرابیاں پیدا ہوتی ہیں۔ ہم نے ٹوین-ٹیوب، گولڈ-کوٹڈ لیمپ استعمال کیا، تاکہ ان عملوں میں پیدا ہونے والی حرارتی عدم استحکام کو دور کیا جاسکے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ٹوین-ٹیوب، گولڈ-کوٹڈ لیمپ، شارٹ-ویو انفراریڈ روشنی پیدا کرتا ہے، جو براہِ راست فوٹوریزسٹ اور فلموں تک پہنچتی ہے۔ گولڈ کوٹنگ، انفراریڈ روشنی کو دوبارہ ہدف پر منعکس کرتی ہے؛ اس طرح کارکردگی بہتر ہوتی ہے، اور ٹیوب کا درجہ حرارت کم ہو جاتا ہے – جس سے ذرات کا خطرہ کم ہو جاتا ہے۔
ویفر پر، درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، اور دروازہ کھولنے/بند کرنے کے بعد بھی یہ درجہ حرارت جلد ہی مستحکم ہو جاتا ہے۔ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی، روشنی کی شدت میں 5% سے کم کمی ہوتی ہے؛ اس طرح پروسیس بغیر کسی ترمیم کے جاری رہتا ہے۔
یہ لیمپ، ٹریک اوونز اور ڈرائنگ ماڈیولز میں استعمال کیا جاسکتا ہے۔ یہ کلین روم کلاس 1–100 کے مطابق ہے، اور معمول کی ہوا کے بہاؤ کے تحت یہ کوئی ذرات پیدا نہیں کرتا۔
یہ کیوں کام کرتا ہے؟
ویفر کو خشک کرنے کے دوران، یہ لیمپ سطح پر موجود نمی کو ختم کرتا ہے، بغیر فلم کو نقصان پہنچائے؛ اس طرح نقصانات کم ہو جاتے ہیں۔ لیتھوگرافی میں، یہ لیمپ نرم بیکنگ اور سخت بیکنگ دونوں عملوں کو بہتر طریقے سے انجام دیتا ہے؛ اس طرح پروفائل کنٹرول بہتر ہوتا ہے۔
نتیجے کے طور پر، بیکنگ کا وقت کم ہوتا ہے، توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، اور فضول مال کی مقدار بھی کم ہوتی ہے۔ مختلف بیچوں کے درمیان ترمیمات کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور پروفائل بھی مستحکم رہتا ہے، کیوں کہ لیمپ ہر بار ایک ہی حرارتی پروفائل پیدا کرتا ہے۔
کن چیزوں پر توجہ دینی چاہیے؟
لیمپ کو ریفلیکٹر کی ساخت اور اوون کے ہوا کے بہاؤ کے مطابق رکھنا ضروری ہے۔ اگر ریفلیکٹر درست نہ ہو، تو گرم نقاط پیدا ہوں گے۔ اگر ہوا کا بہاؤ کم ہو، تو ٹیوب کا درجہ حرارت بڑھ جاتا ہے، اور اس کی زندگی کم ہو جاتی ہے۔
گولڈ کوٹنگ مضبوط ہے، لیکن یہ الکحل اور شدید صفائی کے عملوں کو برداشت نہیں کرتی۔ صرف منظور شدہ صفائی کے طریقوں کا استعمال کریں، اور کوٹڈ سطح کو ہرگز چھونے کی کوشش نہ کریں۔ مناسب طریقے سے نصب کیے جانے پر، یہ لیمپ 24/7 کام کرتا ہے، اور پروسیس کا درجہ حرارت بھی مستحکم رہتا ہے۔