Trong quy trình sản xuất, việc nung chảy vật liệu bán dẫn không chỉ là một bước xử lý nhiệt độ thông thường. Đó thực chất là yếu tố quyết định hiệu suất sản xuất. Nếu nhiệt độ của wafer thay đổi 1°C trong quá trình nung chảy, các kích thước quan trọng của wafer sẽ bị ảnh hưởng. Ngoài ra, sự hình thành các hạt bụi trong quá trình nung chảy cũng có thể phá hủy wafer trước khi nó được cắt thành các mảnh nhỏ. Do đó, cần có thiết bị sưởi ấm hoạt động theo đúng các tiêu chuẩn nhiệt độ và quy định của phòng sạch.
Chúng tôi đã thiết kế thiết bị sưởi ấm cho xưởng sản xuất dựa trên các bộ phát sóng hồng ngoại tia ngắn và hệ thống luân chuyển không khí. Điều này giúp duy trì độ đồng đều về nhiệt độ của wafer trong khoảng ±0,1°C. Độ lặp lại của nhiệt độ là ±0,5°C, vì vậy cùng một mô hình nhiệt độ sẽ được duy trì qua từng lô sản phẩm.
Vật liệu cấu tạo nên buồng sạch có khả năng giảm thiểu việc phát sinh khí độc hại, và đường dẫn khí được thiết kế sao cho phù hợp với tiêu chuẩn HEPA. Điều này giúp kiểm soát số lượng hạt bụi ở mức thấp, điều rất quan trọng trong các quy trình sản xuất công nghệ cao. Thiết bị này được thiết kế để hoạt động 24/7, với các linh kiện có khả năng hoạt động liên tục, và các khoảng thời gian bảo trì được lên kế hoạch cẩn thận để tránh gián đoạn sản xuất.
Thiết bị này cần có nguồn điện ổn định và hệ thống thoát khí tuân thủ tiêu chuẩn phòng sạch. Việc nâng cấp thiết bị có thể phụ thuộc vào cấu trúc dây chuyền sản xuất, và có thể cần có khoảng thời gian ngừng hoạt động nhất định. Cần đảm bảo rằng giao diện kết nối của thiết bị phù hợp với các thiết bị hiện có.
Chúng tôi cung cấp các bản vẽ kỹ thuật và danh sách kiểm tra để việc lắp đặt diễn ra thuận lợi. Tuy nhiên, cần lên kế hoạch triển khai hệ thống nguồn điện từ sớm; nếu không, điều đó sẽ làm chậm quy trình sản xuất.