Đạt được nhiệt độ cần thiết ở những vị trí quan trọng nhất
Nếu bạn từng làm việc trong phòng sạch dùng cho công nghệ bán dẫn, chắc hẳn bạn đã biết rõ những khó khăn khi sử dụng các thiết bị sưởi ấm. Bạn cần đảm bảo bề mặt wafer đạt đúng nhiệt độ yêu cầu, nhưng lại không muốn các thiết bị khác trở thành những “bình ngưng tụ nhiệt” lớn.
Hầu hết mọi người đều sử dụng các tấm phản xạ bằng nhôm thông thường. Vấn đề là nhôm có khả năng hấp thụ ánh sáng hồng ngoại rất tốt. Điều này khiến năng lượng bị lãng phí để làm nóng chính vỏ thiết bị sưởi ấm.
Đó chính là lúc vàng xuất hiện để giải quyết vấn đề này.
Nghe có vẻ hoa mỹ, nhưng thực chất đó chỉ là vấn đề liên quan đến vật lý thôi. Vàng có khả năng phản chiếu ánh sáng hồng ngoại rất tốt. Khi thay thế tấm phản xạ bằng nhôm bằng lớp phủ vàng, nhiệt lượng sẽ không còn bị hấp thụ bởi vỏ thiết bị nữa, mà sẽ được truyền trực tiếp vào bề mặt wafer. Nhờ vậy, hiệu suất sưởi ấm được nâng cao, đồng thời chi phí điện cũng giảm đi đáng kể.
Ngoài ra, việc sử dụng vàng còn giúp ích cho hệ thống điều hòa không khí. Khi nhiệt lượng không còn bị lan tỏa khắp phòng, hệ thống làm mát sẽ không cần phải hoạt động quá tải để duy trì nhiệt độ trong phòng sạch.
Nhưng có một điểm cần lưu ý: vàng rất mềm. Nếu đội ngũ bảo trì vô tình làm xước bề mặt vàng trong quá trình thay thế bóng đèn, hiệu suất sưởi ấm sẽ bị ảnh hưởng nghiêm trọng. Thậm chí, điều này có thể gây ra những điểm nóng trên bề mặt wafer. Vì vậy, cần phải cẩn thận khi xử lý chúng.
Giờ hãy nói về chi phí. Đúng là vàng rất đắt. Tuy nhiên, nếu bạn sử dụng các dây chuyền sản xuất wafer 300mm, nơi mà độ đồng đều của nhiệt độ rất quan trọng, thì chi phí này hoàn toàn xứng đáng. Bạn có thể sử dụng bóng đèn có công suất thấp hơn mà vẫn đạt được mục tiêu mong muốn. Như vậy, các bộ nguồn điện cũng không cần phải hoạt động quá tải.
Một lời khuyên cuối cùng: hãy kết nối các thiết bị này với bộ điều khiển PID. Đó mới là cách tốt nhất.
Và dù thế nào đi nữa, đừng cố gắng “sửa chữa” tấm phản xạ bị hỏng bằng cách tăng công suất bóng đèn. Bạn chỉ càng làm tổn hại đến các sợi dây tóc của bóng đèn mà thôi. Hãy tuân theo các thiết lập được khuyến nghị, và để vàng đảm nhận vai trò quan trọng trong việc sưởi ấm.