Làm thế nào để tránh việc wafer bị nổ khi được sấy khô
Hãy thành thật mà nói: việc sấy khô các wafer cảm biến MEMS sau quá trình làm sạch bằng hóa chất là một công việc rất nguy hiểm. Các bộ phận gia nhiệt nằm ngay giữa những hơi dung môi dễ cháy nổ.
Những chiếc đèn IR thông thường không thể được sử dụng trong môi trường này. Nếu sử dụng đèn thông thường, bạn đang tự tạo ra nguy cơ cháy nổ. Đó là lý do tại sao chúng tôi chế tạo những chiếc đèn này với cấu trúc đặc biệt, nhằm giữ nhiệt bên trong và ngăn chặn nguy cơ cháy nổ.
Làm thế nào để ngăn chặn tia lửa
Khi có tia lửa hoặc bề mặt nóng chạm vào ngưỡng nổ của dung môi, mọi chuyện sẽ trở nên rất nguy hiểm. Để ngăn chặn điều này, chúng tôi đặt các bộ phận gia nhiệt bên trong lớp khoáng chất thạch anh có độ tinh khiết cao. Nhưng chúng tôi còn thêm một lớp kín nữa ở chỗ tiếp xúc giữa các điện cực. Điều này giúp ngăn chặn các chất hóa học có hại xâm nhập vào bên trong mạch điện.
Chúng tôi cũng sử dụng các loại keo và vật liệu kết nối chuyên dụng, không gây ra khí độc. Ngay cả khi buồng sấy chứa đầy các chất hóa học dễ cháy, thì tia lửa vẫn sẽ bị giữ lại bên trong.
Cân bằng giữa nhiệt độ và tính ổn định
Khi sấy khô wafer, bạn cần một lượng nhiệt lớn, và cần nhiệt đó một cách nhanh chóng. Chúng tôi điều chỉnh các chiếc đèn này để chúng có thể tăng nhiệt độ nhanh chóng, giúp sấy khô bề mặt wafer mà không làm hỏng cấu trúc MEMS.
Nhưng có một vấn đề: lượng nhiệt lớn này tạo ra áp lực lớn lên các bộ phận của đèn. Các bộ phận này liên tục giãn nở và co lại. Nếu hệ thống làm mát không hoạt động tốt, các lớp kín sẽ dần bị hỏng.
Lời khuyên của tôi là hãy có lịch trình bảo trì nghiêm ngặt. Hãy kiểm tra xem có vết nứt nhỏ nào trên lớp thạch anh hay không. Đó là thói quen nhỏ nhưng có thể giúp bạn tránh được những rắc rối lớn.
Thiết lập thực tế trong môi trường sản xuất
Khi lắp đặt các chiếc đèn này, hãy nhớ rằng các điểm kết nối thường là những điểm yếu nhất. Chúng tôi sử dụng các loại konektor chắc chắn để đảm bảo kết nối vững chắc. Tại sao ư? Bởi vì rung động có thể khiến kết nối bị lỏng lẻo, và kết nối lỏng lẻo sẽ gây ra tia lửa. Trong môi trường dễ cháy nổ, điều này thật sự nguy hiểm.
Việc thay thế đèn khá đơn giản, nhưng hãy kiểm tra kỹ lưỡng các lớp kín mỗi lần thay thế. Ngay cả một khe hở nhỏ cũng có thể làm mất đi tính an toàn của toàn bộ mô-đun sấy khô. Việc kiểm tra chỉ mất vài giây thôi, nhưng đó là bước quan trọng nhất trong quy trình này.