Trên dây chuyền sản xuất, ngay cả sự thay đổi nhỏ 0,3°C trong nhiệt độ cũng có thể làm thay đổi đặc tính của lớp phim quang học. Những thay đổi này sẽ dẫn đến các sai sót trong quá trình in ấn, tăng tỷ lệ vật liệu bị hỏng, và làm chậm tiến độ sản xuất. Hiệu suất của bóng đèn sấy khô wafer không phải là điều chỉ có thể được mô tả bằng lý thuyết – đó là khả năng kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, đồng thời ngăn chặn sự hình thành các hạt bụi trong quá trình sản xuất.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Chúng tôi thiết kế bộ phản xạ xung quanh các bóng đèn sấy khô wafer thuộc dải bước sóng NIR, nhằm tạo ra môi trường nhiệt độ đồng đều cho wafer. Độ chính xác về nhiệt độ được duy trì ở mức ±0,1°C, giúp loại bỏ các điểm nóng và sự chênh lệch nhiệt độ ở các vùng khác nhau của wafer. Điều này giúp ổn định môi trường nhiệt độ cần thiết để quá trình sấy khô wafer diễn ra tốt.
Về mặt vật liệu và bề mặt, chúng tôi chọn những vật liệu có khả năng phản xạ ánh sáng NIR cao và ít phát ra khí, nhằm đảm bảo số lượng hạt bụi không tăng lên. Thiết kế này giúp quá trình sản xuất diễn ra ổn định từ lần này sang lần khác.
Tại sao thiết kế này hiệu quả trong sản xuất? Điều quan trọng nhất là tính lặp lại của quá trình sản xuất – cùng một mức công suất từ bóng đèn, cùng một nhiệt độ của wafer, qua từng ca sản xuất. Điều này giúp kiểm soát chính xác các thông số kỹ thuật, giảm số lượng sản phẩm bị hỏng, và đảm bảo độ ổn định trong quá trình sản xuất. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt, vì bộ phản xạ giúp tập trung ánh sáng vào vị trí cần thiết, thay vì để nhiệt lượng thừa lan ra các bộ phận khác.
Độ tin cậy của thiết bị cũng rất cao: chúng tôi đã sử dụng các thiết bị này trong hơn 5.000 giờ hoạt động, với tỷ lệ suy giảm công suất dưới 5%. Như vậy, thời gian ngừng hoạt động do sự cố cũng được giảm bớt, và quá trình sấy khô wafer vẫn diễn ra ổn định.
Những điều cần lưu ý Độ chính xác trong việc lắp đặt rất quan trọng. Vị trí của bóng đèn và bộ phản xạ phải được duy trì trong phạm vi cho phép; nếu không, môi trường nhiệt độ sẽ không còn đồng đều nữa. Bộ phản xạ được thiết kế để hoạt động tốt trong dải bước sóng NIR cụ thể; nếu thay đổi loại bóng đèn mà không kiểm tra lại các thông số kỹ thuật, môi trường nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng.
Cần có thời gian để thiết bị ổn định sau khi được lắp đặt. Sau đó, hãy thiết lập các thông số giám sát và giữ chúng ở mức ổn định.