Giữ cho các tấm wafer luôn sạch sẽ: Phương pháp làm nóng hiệu quả hơn
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại Class 100, bạn chắc hẳn biết rõ tầm quan trọng của việc giữ cho môi trường trong phòng sạch hoàn toàn sạch sẽ. Chỉ cần có một hạt bụi nhỏ hay một mảnh vật liệu lạ xuất hiện, toàn bộ sản phẩm wafer của bạn sẽ trở thành rác thải. Đó thực sự là một cơn ác mộng. Hầu hết các loại bộ sưởi thông thường không thể đáp ứng được yêu cầu này – chúng thường tỏa ra khí độc hoặc tạo ra các hạt bụi ngay khi cần phải duy trì trạng thái ổn định.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chọn sử dụng các bóng đèn IR bằng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Đây không phải là những bộ sưởi thông thường. Chúng tôi đã loại bỏ hết các tạp chất kim loại và chất hữu cơ gây ô nhiễm trong quá trình hoạt động ở nhiệt độ cao.
Bí quyết nằm ở chính chất thạch anh.
Chúng tôi sử dụng thạch anh kết tinh với mức độ tạp chất cực thấp. Điều này giúp ngăn không cho các ion xâm nhập vào bề mặt chất bán dẫn. Có thể coi lớp vỏ thạch anh như một lớp niêm phong chặt chẽ bảo vệ sợi wolfram bên trong. Không có gì có thể thoát ra ngoài được.
Hơn nữa, vì chúng tôi sử dụng bước sóng IR ngắn, nhiệt lượng sẽ được truyền trực tiếp vào vật thể cần được làm nóng. Nhiệt lượng không chỉ tác động lên không khí xung quanh mà thôi. Hệ thống HVAC của bạn sẽ cảm ơn bạn vì đã giúp nó không phải hoạt động quá tải.
Một vài điều cần lưu ý:
Những bóng đèn này được thiết kế để hoạt động với tốc độ và độ chính xác cao. Bạn có thể điều chỉnh công suất và điện áp để phù hợp với nguồn điện mà bạn đang sử dụng.
Nhưng có một điểm cần lưu ý: vì chúng có công suất lớn, nên lớp thạch anh có thể trở nên giòn hơn. Nếu chúng bị tác động bởi nhiệt độ đột ngột, chúng có thể bị nứt. Vì vậy, hãy tăng công suất một cách từ từ và ổn định.
Cách lắp đặt chúng vào hệ thống của bạn:
Chúng tôi thiết kế chúng sao cho có thể thay thế trực tiếp cho các bộ sưởi hiện có của bạn. Chúng tôi sử dụng các cổng kết nối chuyên dụng để đảm bảo rằng môi trường điện tử được bảo vệ kín khít, giúp các khí halogen bên trong không thoát ra ngoài.
Cuối cùng, nếu bạn lắp chúng vào một hệ thống có mật độ cao, hãy kiểm tra lại hệ thống làm mát của mình. Nhiệt độ ở đây rất cao; nếu dòng khí không đủ mạnh, các dây dẫn có thể bị hư hỏng. Ai cũng không muốn gặp phải tình trạng đó.