MEMS传感器晶圆干燥加热器

Fri, 17 Jul 2026 02:28:26 +0800

如何防止红外灯在干燥过程中引发爆炸

说实话，对MEMS传感器晶圆进行化学清洗后的干燥过程其实相当危险。因为加热元件就位于易燃易爆的溶剂蒸汽之中。

普通的红外灯根本不适合用于这种环境。如果在这种环境中使用普通灯泡，那无疑是在自找麻烦。因此，我们设计的灯光采用了特殊的封装结构，这样的设计能够有效隔绝热量，同时避免危险因素的产生。

化学清洗过程中，一旦有火花或高温表面接触到溶剂的爆炸极限，就会发生严重的后果。为了解决这个问题，我们将加热元件置于高纯度的石英外壳中。此外，我们还在电极连接处设置了双重密封装置，以防止有害化学物质进入电路系统。